10月25日，中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”）宣布，全球第500臺MOCVD設備順利付運國內(nèi)領先的LED外延片和芯片研發(fā)生產(chǎn)制造商。

中微公司表示，本批次運付的第500臺MOCVD設備為公司2021年6月推出的Prismo UniMax®，主要用于氮化鎵基Mini LED外延片量產(chǎn)。隨著近些年來光電產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，Mini LED已廣泛應用于電視、筆記本電腦、平板電腦、桌面顯示器、車載顯示屏、戶外顯示屏等終端產(chǎn)品。

官方介紹稱，Prismo UniMax®是專為高性能Mini LED量產(chǎn)而設計的MOCVD設備，其具備高產(chǎn)能和高靈活性的特點，在同一系統(tǒng)中可配備多達4個反應腔，每個反應腔均可實現(xiàn)獨立控制。Prismo UniMax®配置了785mm大直徑石墨托盤，通過石墨托盤的不同設計配置，最多可實現(xiàn)同時加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片，有效提高產(chǎn)能并降低生產(chǎn)成本。此外，Prismo UniMax®創(chuàng)新的多區(qū)輔助加熱調(diào)節(jié)系統(tǒng)，能精確控制托盤局部區(qū)域溫度，有助于更大程度提升LED波長均勻性。

據(jù)了解，目前，中微公司開發(fā)的一系列MOCVD設備在行業(yè)內(nèi)主要的LED生產(chǎn)線上已全面投入量產(chǎn)。Prismo UniMax®是MOCVD設備系列新一代產(chǎn)品，該產(chǎn)品系列還包括Prismo D-BLUE®、Prismo A7®、Prismo HiT3®和Prismo PD5®。2013年，中微公司率先發(fā)布國內(nèi)自主研發(fā)制造的量產(chǎn)型MOCVD設備Prismo D-BLUE®。此后，中微公司又于2017年、2020年、2021年、2022年相繼推出了Prismo A7®、Prismo HiT3®、Prismo UniMax®和Prismo PD5®產(chǎn)品。

中微公司副總裁兼MOCVD產(chǎn)品事業(yè)部總經(jīng)理郭世平表示，中微公司開發(fā)的一系列MOCVD設備，獲得了客戶與市場的廣泛認可，部分產(chǎn)品在細分領域市占率達到全球排名第一。

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