10月12日，普達特科技發(fā)布公告稱，本公司正按計劃開展CVD（化學氣相沉積）設(shè)備業(yè)務(wù)，公司前期將向該業(yè)務(wù)投放人民幣1.4億元。按計劃， CVD產(chǎn)品的范圍包括用于制造12吋芯片的多種先進熱CVD設(shè)備，公司預期相關(guān)產(chǎn)品將于2024年進入商業(yè)生產(chǎn)階段。

普達特科技表示，熱CVD設(shè)備應(yīng)用于半導體設(shè)備制造業(yè)薄膜沉積過程中，在該過程采用的產(chǎn)品中，發(fā)揮著關(guān)鍵的作用。公司認為CVD設(shè)備業(yè)務(wù)將為國產(chǎn)替代提供強大推動力，同時具有廣闊的市場空間。

普達特科技的設(shè)備業(yè)務(wù)目前有兩大板塊，半導體設(shè)備以及太陽能設(shè)備。其中，半導體業(yè)務(wù)依靠公司強大的自研團隊及外延式并購雙輪驅(qū)動，主要涉及單片機清洗設(shè)備以及薄膜沉積工藝的CVD設(shè)備。太陽能業(yè)務(wù)是通過收購德國RENA公司中國區(qū)太陽能業(yè)務(wù)而來，主要涉及濕法清洗制絨設(shè)備以及銅電鍍設(shè)備。

據(jù)了解，今年以來，普達特科技接連公布了自研半導體清洗設(shè)備投產(chǎn)并獲得市場訂單的消息，向下游客戶提供單片濕式處理設(shè)備以及設(shè)計及制造其他半導體清洗產(chǎn)品。此次開展CVD設(shè)備業(yè)務(wù)，也意味著普達特科技將進入除清洗以外的另一大半導體制造重大工藝、工序板塊。

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