在化合物半導(dǎo)體需求越來(lái)越旺之際，產(chǎn)業(yè)鏈下游對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備的需求在持續(xù)升溫，這也促使設(shè)備廠加快設(shè)備推陳出新的速度。近日，盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱“盛美上海”)通過(guò)微信公眾號(hào)平臺(tái)宣布，其推出了新型化學(xué)機(jī)械研磨后（Post-CMP）清洗設(shè)備。

盛美上海指出，這是公司第一款Post-CMP清洗設(shè)備，該設(shè)備可用于制造高質(zhì)量襯底化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)工藝之后的清洗，擁有濕進(jìn)干出（WIDO）和干進(jìn)干出（DIDO）兩種配置，并可選配2、4或6個(gè)腔體，擁有每小時(shí)60片晶圓的最大產(chǎn)能（WPH）。6英寸和8英寸的配置適用于碳化硅（SiC）襯底制造；8英寸和12英寸配置適用于硅片制造。

市場(chǎng)供需緊張，設(shè)備企業(yè)迎發(fā)展良機(jī)

當(dāng)下，化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域正積極擴(kuò)產(chǎn)。受此影響，全球的半導(dǎo)體設(shè)備交期不斷拉長(zhǎng)，這也促使設(shè)備的供需關(guān)系更加緊張——北方華創(chuàng)近期在財(cái)報(bào)中表示，其碳化硅長(zhǎng)晶設(shè)備訂單飽滿，預(yù)計(jì)今年出貨將超500臺(tái)。

而供需關(guān)系緊張與市場(chǎng)增長(zhǎng)機(jī)遇并行。盛美上海董事長(zhǎng)王暉博士表示，盛美上海在半導(dǎo)體清洗工藝技術(shù)方面有豐富的經(jīng)驗(yàn)，目前這款Post-CMP清洗設(shè)備為盛美上海的客戶提供了一種穩(wěn)定、可靠且具有成本效益的解決方案，同時(shí)還能縮短交貨時(shí)間，大大緩解短缺的現(xiàn)狀。

可以說(shuō)，盛美上海Post-CMP清洗設(shè)備的推出恰逢其時(shí)，盛美上海也將因此受益，獲得良好的發(fā)展契機(jī)。

車用碳化硅市場(chǎng)規(guī)模將破10億美元

5G通信、電動(dòng)汽車、光伏等新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展對(duì)碳化硅的性能、產(chǎn)能提出了更高的要求，是碳化硅產(chǎn)業(yè)加速發(fā)展的重要推動(dòng)力。

其中，新能源電動(dòng)車是碳化硅應(yīng)用中最不可忽視的市場(chǎng)，也是碳化硅近年來(lái)最大的增長(zhǎng)引擎。特別是隨著新能源汽車滲透率的持續(xù)上升，碳化硅的供應(yīng)遠(yuǎn)遠(yuǎn)滿足不了需求。TrendForce集邦咨詢指出，隨著越來(lái)越多車企開(kāi)始在電驅(qū)系統(tǒng)中導(dǎo)入SiC技術(shù)，預(yù)估2022年車用SiC功率元件市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到10.7億美元，至2026年將攀升至39.4 億美元。

Source：TrendForce集邦咨詢

但在供應(yīng)端，目前車用SiC功率元件市場(chǎng)主要由歐美IDM大廠掌控，關(guān)鍵供應(yīng)商ST（意法半導(dǎo)體）、ON Semi（安森美）、Wolfspeed、Infineon（英飛凌）以及ROHM（羅姆）在此領(lǐng)域深耕已久，與各大車企及Tier1廠商互動(dòng)密切。

國(guó)內(nèi)市場(chǎng)顯然對(duì)此現(xiàn)狀“意難平”。目前，上汽、廣汽等車企已著手布局SiC全產(chǎn)業(yè)鏈，比亞迪、蔚來(lái)、小鵬等也有意將供應(yīng)鏈國(guó)產(chǎn)化，這無(wú)疑為國(guó)產(chǎn)碳化硅供應(yīng)鏈的發(fā)展提供了巨大機(jī)遇，設(shè)備端也因此而水漲船高。

碳化硅設(shè)備迎來(lái)國(guó)產(chǎn)化突破

在產(chǎn)業(yè)景氣度上行與國(guó)產(chǎn)化加速的雙重動(dòng)力之下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備廠迎來(lái)了發(fā)展機(jī)遇，包括業(yè)績(jī)快速增長(zhǎng)的機(jī)遇，以及研發(fā)新技術(shù)并被市場(chǎng)認(rèn)可的機(jī)遇。

除了盛美上海的Post-CMP清洗設(shè)備之外，去年9月份，北方華創(chuàng)在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示，公司的碳化硅外延設(shè)備已實(shí)現(xiàn)市場(chǎng)銷售，產(chǎn)品各項(xiàng)性能滿足客戶要求。

今年年初，中電科二所宣布取得了碳化硅激光剝離設(shè)備國(guó)產(chǎn)化突破性進(jìn)展。根據(jù)中電科二所公布的消息，其科研團(tuán)隊(duì)已掌握激光剝離技術(shù)原理與工藝基礎(chǔ)，并利用自主搭建的實(shí)驗(yàn)測(cè)試平臺(tái)，結(jié)合特殊光學(xué)設(shè)計(jì)、光束整形、多因素耦合剝離等核心技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了小尺寸SiC單晶片的激光剝離。目前，這一研發(fā)項(xiàng)目已通過(guò)專家論證，正式立項(xiàng)啟動(dòng)，下一步將研發(fā)快速生產(chǎn)化、全自動(dòng)化、低能耗化的激光剝離設(shè)備。

納設(shè)智能在今年2月成功出廠了高溫化學(xué)氣相沉積設(shè)備，該設(shè)備專門(mén)用于碳化硅芯片生產(chǎn)的外延生長(zhǎng)環(huán)節(jié)，目前已獲多家客戶認(rèn)可。

來(lái)到4月，季華實(shí)驗(yàn)室發(fā)布消息稱，其大功率半導(dǎo)體研究團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)的SiC高溫外延裝備取得突破性進(jìn)展。據(jù)介紹，該項(xiàng)目采用高穩(wěn)定氣體流場(chǎng)、壓力場(chǎng)控制、感應(yīng)加熱、反應(yīng)腔整機(jī)系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案，結(jié)合自主開(kāi)發(fā)的原位監(jiān)控技術(shù)、在線清洗技術(shù)以及涂層材料和工藝，從而實(shí)現(xiàn)SiC外延的快速、高質(zhì)量生長(zhǎng)，同時(shí)提高設(shè)備運(yùn)行的可靠性和穩(wěn)定性。

綜合來(lái)看，化合物半導(dǎo)體的春風(fēng)還將繼續(xù)吹，吹動(dòng)包括國(guó)產(chǎn)電動(dòng)車在內(nèi)的碳化硅應(yīng)用市場(chǎng)的加速，吹動(dòng)半導(dǎo)體設(shè)備需求的增長(zhǎng)，同時(shí)也吹動(dòng)供應(yīng)鏈國(guó)產(chǎn)化的持續(xù)推進(jìn)。盛美上海的Post-CMP清洗設(shè)備只是前奏，相信在接下來(lái)的時(shí)間里，國(guó)產(chǎn)設(shè)備將會(huì)有越來(lái)越多的突破。

封面圖片來(lái)源：拍信網(wǎng)