集成電路（IC）被譽為現(xiàn)代工業(yè)的“糧食”。20年間，芯源微、拓荊科技、富創(chuàng)精密、沈科儀等企業(yè)在沈陽快速發(fā)展，這些高科技企業(yè)的產(chǎn)品，占據(jù)了中國集成電路（IC）裝備產(chǎn)業(yè)鏈條的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，由此也聚集成沈陽“芯”高地。

奔 跑
沈陽IC裝備企業(yè)的共同關(guān)鍵詞

沈陽現(xiàn)有IC裝備企業(yè)18家，其中整機企業(yè)7家，配套企業(yè)11家。作為國內(nèi)IC裝備產(chǎn)業(yè)的三大重點地區(qū)之一，在近20年來，沈陽推動產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展，集聚和培育出了一批優(yōu)勢骨干企業(yè)，在薄膜沉積、涂膠顯影、濕法刻蝕、清洗機等整機裝備和羅茨干泵、真空機械手等關(guān)鍵單元部件等方面均形成了獨具特色的產(chǎn)業(yè)體系和批量生產(chǎn)能力，產(chǎn)品種類覆蓋沉積、光刻、刻蝕、封裝多個工藝領(lǐng)域，建立起完整的IC裝備產(chǎn)業(yè)鏈條。

“相比其他城市，沈陽集成電路裝備產(chǎn)業(yè)的鏈條比較完整。”沈陽市工信局相關(guān)負責(zé)人指出，沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)鏈上游擁有富創(chuàng)、新松、中科儀、硅基、中科博微等企業(yè)，能夠供應(yīng)反應(yīng)腔、真空干泵、機械手、SOI材料等零部件和控制系統(tǒng)；產(chǎn)業(yè)鏈中游為整機裝備制造商。擁有芯源微、拓荊、儀表院等企業(yè)，可以進行薄膜設(shè)備、涂膠顯影機、劃片機等IC整機制造和系統(tǒng)集成；產(chǎn)業(yè)鏈下游擁有中電科第47所和儀表院等企業(yè)，從事集成電路制造和封測。

芯源微的前身沈陽芯源先進半導(dǎo)體技術(shù)有限公司由中科院沈陽自動化研究所發(fā)起創(chuàng)立。從一家名不見經(jīng)傳的小型企業(yè)，到2012年獲批承擔國家02科技重大專項，再到2021年產(chǎn)值突破10億元，已然成長為 “小巨人”。“我們一直在奔跑。”沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司董事長宗潤福表示。

“奔跑”也成為沈陽IC裝備企業(yè)的共同關(guān)鍵詞。

抱 團
在渾南區(qū)形成集成電路產(chǎn)業(yè)集群

2022年一季度，芯源微實現(xiàn)營業(yè)收入1.84億元，同比增長61.99%，不斷刷新業(yè)績增長記錄。這份靚麗的季報是沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展的一個縮影。

確實，經(jīng)過多年培育，沈陽集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模逐步壯大，產(chǎn)業(yè)類型日漸豐富，迅速進入發(fā)展“快車道”。“十三五”期間，沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)連續(xù)五年穩(wěn)定快速增長，年均增長率達到10.1%，已經(jīng)形成了“一項控制系統(tǒng)技術(shù)、八類重要整機裝備、一批關(guān)鍵單元部件和一個精密零部件支撐平臺”的配套體系和批量生產(chǎn)能力。據(jù)沈陽市工信局統(tǒng)計，今年1-3月份，沈陽集成電路產(chǎn)業(yè)完成產(chǎn)值12億元，同比增長48%。

中國集成電路產(chǎn)業(yè)領(lǐng)頭人、中科院微電子研究所所長葉甜春在沈陽考察時曾指出，沈陽在國家集成電路版圖布局中，具有非常獨特的位置并具備很好的基礎(chǔ)，在渾南區(qū)形成了集成電路產(chǎn)業(yè)集群。

蓄 勢
IC裝備發(fā)展為沈陽轉(zhuǎn)型增添“芯”動能

目前，沈陽與北京、上海，已構(gòu)成我國IC裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展的三大重點地區(qū)。

業(yè)內(nèi)人士分析稱，作為老工業(yè)基地，沈陽的工業(yè)加工基礎(chǔ)非常雄厚，為高端設(shè)備的生產(chǎn)提供了技術(shù)積累；同時，受國際形勢影響，國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈迎來黃金發(fā)展期，國產(chǎn)替代市場空間巨大，行業(yè)景氣度持續(xù)向好。當前，鎖定“創(chuàng)新”和“產(chǎn)業(yè)”的沈陽，正在搶抓新一輪發(fā)展機遇，聚力創(chuàng)“芯”、聚勢發(fā)展，加快集成電路產(chǎn)業(yè)延鏈補鏈強鏈，全力打造中國集成電路裝備產(chǎn)業(yè)“芯”高地。

沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)已形成以芯源微、拓荊科技、富創(chuàng)精密、沈科儀為代表的半導(dǎo)體裝備和零部件體系，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群的打造也將持續(xù)強化，通過鼓勵龍頭企業(yè)科研攻關(guān)，引入、培育上下游企業(yè)等方式，構(gòu)建更加完善的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈，打造新興產(chǎn)業(yè)“聯(lián)合艦隊”。

“發(fā)展集成電路裝備產(chǎn)業(yè)投入雖大，但發(fā)展后勁足，產(chǎn)業(yè)先天具有韌性強等特點，將為正處于轉(zhuǎn)型期的沈陽帶來源源不斷的新動能。”沈陽市工信局相關(guān)負責(zé)人表示，決勝“芯”時代，沈陽將不遺余力提供最專業(yè)的載體支撐、最完備的要素保障、最優(yōu)質(zhì)的營商環(huán)境，推動企業(yè)攜手科研界深化合作、協(xié)同創(chuàng)新，共同“破冰”關(guān)鍵核心技術(shù)，攜手開拓更多“針尖”領(lǐng)域，推動沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展闖出一條強“芯”之路。

賦 能
可嘗試“事業(yè)合伙人”激勵制度

人才是創(chuàng)新的動能，更是企業(yè)生存發(fā)展的關(guān)鍵。集成電路產(chǎn)業(yè)市場空間很大，門檻也很高，人才缺口巨大，資深的半導(dǎo)體行業(yè)專家和應(yīng)用技術(shù)研發(fā)人才，尤其是高端人才、核心技術(shù)骨干的引入，成為沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)的迫切之需。

近年來，芯源微的員工規(guī)模不斷擴大，截至2021年底，員工人數(shù)已超過600人，今年人員規(guī)模將繼續(xù)增長。據(jù)了解，芯源微為了吸引人才、留住人才，除了企業(yè)原始股東激勵外，公司兩期股權(quán)激勵已覆蓋員工139人次。“工資+股權(quán)激勵”的薪資結(jié)構(gòu)，比其他企業(yè)更具有吸引力。

就此，遼寧大學(xué)商學(xué)院人力資源管理系教授李博認為，集成電路（IC）裝備產(chǎn)業(yè)人才吸引力，不僅在于物質(zhì)方面的“硬件”，也要重視事業(yè)發(fā)展、生活環(huán)境、文化歸屬等“軟件”建設(shè)。

她進一步分析說，政府在人才發(fā)展上要有“長期觀念”，并“放眼全球”，能夠營造滿足“公平”與“發(fā)展”需要的和諧環(huán)境。產(chǎn)業(yè)層面，可借助行業(yè)聯(lián)盟等合作組織，聯(lián)合引進人才，以充分實現(xiàn)人才價值，并滿足其回報預(yù)期。建立行業(yè)人才數(shù)據(jù)庫，提高人才配置和利用效率。企業(yè)方面，創(chuàng)新人才管理方式，可采用“事業(yè)合伙人”激勵制度，以實現(xiàn)風(fēng)險共擔、利益共享的長期激勵；注重組織目標和個人事業(yè)目標協(xié)調(diào)的職業(yè)生涯規(guī)劃管理等。

封面圖片來源：拍信網(wǎng)