5月9日，北京大學(xué)集成電路學(xué)院等離子體增強(qiáng)原子層沉積設(shè)備采購(gòu)項(xiàng)目中標(biāo)結(jié)果公示。該項(xiàng)目中標(biāo)供應(yīng)商為西安思密康電子科技有限公司，中標(biāo)貨物為1套等離子體增強(qiáng)原子層沉積設(shè)備，貨物品牌為PicosunOy，中標(biāo)金額328.98萬(wàn)元。

據(jù)該項(xiàng)目招標(biāo)公告，所采購(gòu)的設(shè)備用于國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目、國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目，用于研究新結(jié)構(gòu)氧化物半導(dǎo)體器件、鐵電場(chǎng)效應(yīng)晶體存儲(chǔ)器和三維集成技術(shù)等。

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