3月10日，湖北鼎龍控股股份有限公司（以下簡稱“鼎龍股份”）發(fā)布《關于公司拋光液產品通過客戶端驗證并開啟計劃采購的公告》。

公告顯示，近日鼎龍股份控股子公司武漢鼎澤新材料技術有限公司的氧化鋁拋光液產品在某家公司28nm節(jié)點HKMG工藝的Al CMP制程驗證通過。

圖片來源：鼎龍股份公告截圖

鼎龍股份稱，該產品使用氧化鋁研磨粒子和高分子聚合物，是所有拋光液中技術最難的關鍵材料，公司已突破技術難關，實現(xiàn)三種關鍵材料的自主制備。該款搭載公司自制研磨粒子的拋光液產品，是目前尚未取得國產化材料突破的卡脖子拋光液型號之一，難度極高，其各項參數(shù)均達到客戶應用要求，通過客戶端全方面工藝參數(shù)驗證，并已進入噸級采購階段。

據(jù)悉，目前，鼎龍股份各制程拋光液在中國各個主流廠商的驗證評價和市場推廣工作已全面展開，部分客戶的初步評價已經獲得了客戶端極好的評價結果。產能建設方面，武漢本部工廠一期全自動化拋光液生產車間已經建成，具備年產5000噸拋光液的生產能力，能夠滿足客戶端訂單需求。公司將根據(jù)市場情況盡快研究部署二期產能建設。

鼎龍股份表示，本項目是公司CMP全局平坦化綜合解決方案的重要組成部分，也將形成公司新的新產品增長級。

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