當(dāng)?shù)貢r間1月3日,全球半導(dǎo)體設(shè)備光刻機巨頭ASM宣布,其位于德國柏林的部分工廠于昨晚(1月2日)發(fā)生火災(zāi)。大火在夜間被撲滅,所幸事件中沒有人員受傷。

△Source:ASML官網(wǎng)
ASML表示,目前就損失或該事件是否會對今年的產(chǎn)量計劃產(chǎn)生任何影響發(fā)表任何聲明還為時過早,因為進行徹底調(diào)查并做出全面評估需要幾天時間。
據(jù)了解,此次發(fā)生火災(zāi)的工廠過去為ASML的供應(yīng)商Berliner Glas所有,其主要為ASML的光刻設(shè)備生產(chǎn)其中的零組件,最后使得曝光設(shè)備能用于生產(chǎn)制造半導(dǎo)體芯片。而 Berliner Glas所生產(chǎn)的零組件主要包括晶圓臺(wafer tables)、光罩盤(reticle chucks)、以及反射鏡 (mirror blocks)等產(chǎn)品。
2020年,ASML收購Berliner Glas,當(dāng)時Berliner Glas的年營收約為2.3億歐元。
封面圖片來源:拍信網(wǎng)