韓國光刻膠供應(yīng)商?hào)|進(jìn)半導(dǎo)體(Dongjin Semichem)12月19日宣布，近期已通過了三星電子的EUV PR（光刻膠）可靠性測試（合格）。三星方表示，這款光刻膠為雙方合作研發(fā)，它打破韓國EUV光刻膠完全依賴海外供應(yīng)商的局面，最快有望明年上半年向產(chǎn)線批量供應(yīng)。

業(yè)內(nèi)人士表示，東進(jìn)半導(dǎo)體在其位于京畿道的華城工廠開發(fā)了EUV光刻膠，并在三星電子的華城EUV生產(chǎn)線進(jìn)行了測試，最終獲得了資格。兩家公司的合作，使得EUV光刻膠能夠以高技術(shù)水平快速開發(fā)。

據(jù)了解，光刻膠應(yīng)用于芯片上，當(dāng)用半導(dǎo)體曝光設(shè)備照射光時(shí)，會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)并改變物理性質(zhì)，通過用顯影劑沖洗掉PR來繪制微電路，只留下必要的部分。雖然KrF和ArF氟化物工藝的光刻膠在韓國已經(jīng)大量生產(chǎn)，但沒有能夠繪制更精細(xì)電路的EUV光刻膠。這是因?yàn)殚_發(fā)非常困難，韓國國內(nèi)使用的EUV光刻膠大部分是從日本進(jìn)口的。

據(jù)悉，2019年日本出臺(tái)出口限制措施后，東進(jìn)半導(dǎo)體開始利用自己的基礎(chǔ)設(shè)施，如現(xiàn)有的氟化氬曝光機(jī)和比利時(shí)半導(dǎo)體研究所（IMEC）的EUV設(shè)備，將EUV光刻膠本土化。同時(shí)，三星提供了EUV測試環(huán)境并且成功提高了光刻膠質(zhì)量，使其能夠被成功應(yīng)用。

雖然已經(jīng)通過了測試，不過三星是否會(huì)在EUV生產(chǎn)線上立即使用東進(jìn)半導(dǎo)體的EUV光刻膠還不確定，三星及東進(jìn)拒絕進(jìn)一步表態(tài)。

封面圖片來源：拍信網(wǎng)