12月15日，晶瑞電材在互動平臺表示，公司近期已購得KrF光刻機(jī)一臺，可用于KrF光刻膠的曝光測試，同時公司KrF光刻膠量產(chǎn)化生產(chǎn)線正在積極建設(shè)中。公司高端KrF（248）光刻膠已完成中試，建成了中試示范線，已進(jìn)入客戶測試階段。

據(jù)悉，目前晶瑞電材ArF（193）高端光刻膠研發(fā)工作已正式啟動，已完成光刻機(jī)、勻膠顯影機(jī)、掃描電鏡、臺階儀等設(shè)備購置，其中ASML1900Gi型光刻機(jī)設(shè)備正在積極調(diào)試中。同時公司正在積極開展對上游材料樹脂單體及配方的研究。晶瑞電材補(bǔ)充，此前，公司已經(jīng)購得用于負(fù)膠、g線、i線、ArF等4臺光刻機(jī)，再加之此次購得的KrF光刻機(jī)，公司已經(jīng)到位5臺光刻機(jī)。

公開資料顯示，該公司3萬噸電子級硫酸產(chǎn)線已于今年上半年順利通車，經(jīng)試生產(chǎn)調(diào)試，產(chǎn)品金屬雜質(zhì)含量低于10ppt，達(dá)到G5級水平，品質(zhì)已達(dá)全球同行業(yè)第一梯隊水平，產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)可以履蓋目前全部先進(jìn)集成電路技術(shù)節(jié)點的要求。目前，公司正在積極開展客戶論證測試，市場反應(yīng)良好?，F(xiàn)有3萬噸硫酸項目的順利建設(shè)為二期6萬噸硫酸項目的順利實施提供了基礎(chǔ)和保障。二期6萬噸電子級硫酸項目已啟動，項目的建設(shè)期為12個月，當(dāng)前已取得環(huán)評審批。

12月13日，晶瑞電子材料股份有限公司（以下簡稱“晶瑞電材”）發(fā)布2021年度以簡易程序向特定對象發(fā)行股票募集資金使用的可行性分析報告（修訂稿）。本次發(fā)行的發(fā)行對象為諾安基金管理有限公司、濟(jì)南瑞和投資合伙企業(yè)（有限合伙）、財通基金管理有限公司、高盛公司（Goldman Sachs&Co.LLC）、郭偉松。所有發(fā)行對象均以現(xiàn)金方式認(rèn)購本次發(fā)行的股票。

據(jù)悉，本次發(fā)行擬募集資金總額為 276,999,997.16 元，公告指出，本次發(fā)行所募集資金主要投資于陽恒化工年產(chǎn) 9 萬噸超大規(guī)模集成電路用半導(dǎo)體級高純硫酸技改項目（二期）以及補(bǔ)充流動資金或償還銀行貸款。

圖片來源：晶瑞電材公告截圖

其中，陽恒化工年產(chǎn) 9 萬噸超大規(guī)模集成電路用半導(dǎo)體級高純硫酸技改項目（二期）目標(biāo)為，江蘇陽恒化工有限公司在原廠址區(qū)域內(nèi)，在不增加硫酸總產(chǎn)能和排污總量及污染因子的前提下，通過引進(jìn)技術(shù)裝備對原基礎(chǔ)化工產(chǎn)品工業(yè)用硫酸生產(chǎn)裝置進(jìn)行改造提升，生產(chǎn)部分半導(dǎo)體級高純硫酸，實現(xiàn)技術(shù)改造標(biāo)準(zhǔn)達(dá)到國際先進(jìn)水平，安全、環(huán)保、投入產(chǎn)出水平高于原項目水平。本次發(fā)行用于陽恒化工年產(chǎn) 9 萬噸超大規(guī)模集成電路用半導(dǎo)體級高純硫酸技改項目（二期）投資，本項目產(chǎn)能為 60,000 噸/年。

公開資料顯示，晶瑞電材近三年不斷擴(kuò)大產(chǎn)能，包括南通的“年產(chǎn) 9 萬噸超大規(guī)模集成電路用半導(dǎo)體級高純硫酸技改項目”、眉山的“年產(chǎn) 8.7 萬噸光電顯示、半導(dǎo)體用新材料項目”、潛江的“晶瑞（湖北）微電子材料項目”等項目有序開展，運(yùn)營資金增加。