近日，據(jù)發(fā)展懷柔消息，由北京海創(chuàng)微芯科技有限公司牽頭，聯(lián)合北京賽萊克斯國際科技有限公司、北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司、北京中科賽微電子科技有限公司，共同組建的先進(jìn)MEMS工藝設(shè)計(jì)與服務(wù)北京市工程研究中心正式獲得市發(fā)改委批復(fù)。

據(jù)發(fā)展懷柔介紹，該中心針對我國MEMS工藝制造起步晚、能力不足的瓶頸問題，聯(lián)合產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)和科研院所等機(jī)構(gòu)，圍繞MEMS器件制造關(guān)鍵工藝和工程化實(shí)現(xiàn)的核心技術(shù)，將通過搭建先進(jìn)MEMS工藝研發(fā)體系、打造中試公共服務(wù)中心、引進(jìn)吸收國際先進(jìn)MEMS代工技術(shù)、培養(yǎng)MEMS工藝和設(shè)備制造人才等路徑來填補(bǔ)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新各環(huán)節(jié)間的脫節(jié)與斷層，形成有效的自主創(chuàng)新機(jī)制，形成產(chǎn)品需求到能力建設(shè)再到推動(dòng)行業(yè)發(fā)展的良性循環(huán)，吸引一批MEMS產(chǎn)品設(shè)計(jì)公司在北京聚集，以實(shí)現(xiàn)6寸MEMS產(chǎn)品中試到8寸MEMS產(chǎn)品量產(chǎn)的連貫銜接，整合各方資源協(xié)同發(fā)展北京市智能傳感器千億級產(chǎn)業(yè)。

組建成員中，企查查資料顯示，北京賽萊克斯國際科技有限公司是賽微電子的全資子公司，北京海創(chuàng)微芯科技有限公司、北京中科賽微電子科技有限公司（與中科院合資）均為賽微電子的控股子公司。此外，北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司是半導(dǎo)體設(shè)備廠商北方華創(chuàng)的全資子公司。

據(jù)了解，賽微電子是MEMS芯片專業(yè)制造廠商及GaN材料及芯片廠商，其全資子公司瑞典Silex專注于MEMS芯片的工藝開發(fā)及晶圓制造，控股子公司賽萊克斯北京擁有標(biāo)準(zhǔn)化規(guī)模產(chǎn)能且正持續(xù)積累工藝開發(fā)經(jīng)驗(yàn)。北方華創(chuàng)則是國內(nèi)知名半導(dǎo)體設(shè)備廠商，主要產(chǎn)品包括刻蝕、PVD、CVD等高端半導(dǎo)體工藝裝備及核心零部件等。

封面圖片來源：拍信網(wǎng)