近日，深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司（以下簡稱“捷佳偉創(chuàng)”）在其官微宣布，截至目前，公司已取得重要客戶在槽式濕法清洗設(shè)備上的批量訂單，并于2021年7月21日成功交付3套集成電路全自動槽式濕法清洗設(shè)備至客戶進(jìn)行大批量生產(chǎn)。

同時，捷佳偉創(chuàng)正在設(shè)計(jì)制造中的設(shè)備還包含了用于MicroLED、第三代化合物半導(dǎo)體及集成電路IDM廠的槽式清洗設(shè)備及相關(guān)附屬設(shè)備，涵蓋了集成電路200mm以下近70%濕法工藝步驟，包含有光刻膠去除、氧化膜刻蝕、金屬膜刻蝕、爐管前清洗及有機(jī)溶劑清洗等，擁有Cassette與Cassette less兩種類型，覆蓋晶圓尺寸從100mm~200mm。

資料顯示，捷佳偉創(chuàng)作為一家太陽能電池設(shè)備企業(yè)，而太陽能電池設(shè)備是半導(dǎo)體工藝的應(yīng)用領(lǐng)域之一，清洗制絨、擴(kuò)散、刻蝕、PECVD均與半導(dǎo)體工藝環(huán)節(jié)相關(guān)。近年來為順應(yīng)產(chǎn)品發(fā)展路徑，捷佳偉創(chuàng)開始向半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域延伸。

2019年，捷佳偉創(chuàng)全資子公司常州捷佳創(chuàng)精密機(jī)械有限公司成立了半導(dǎo)體濕法工藝研究室，集合國際團(tuán)隊(duì)重點(diǎn)加強(qiáng)對集成電路濕法設(shè)備進(jìn)行研發(fā)。而隨著國家近年來對集成電路的支持力度不斷加強(qiáng)、市場的強(qiáng)勁需求、產(chǎn)品研發(fā)的推進(jìn)，近兩年來，捷佳偉創(chuàng)成立了多個子公司，經(jīng)營規(guī)模和經(jīng)營范圍進(jìn)一步擴(kuò)展。

2020年9月，常州捷佳創(chuàng)精密機(jī)械有限公司正式投資成立了創(chuàng)微微電子（常州）有限公司，專門從事集成電路濕法清洗工藝設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，設(shè)備主要包含槽式及單晶圓濕法清洗設(shè)備；同年年11月，捷佳偉創(chuàng)首個海外研發(fā)中心捷佳創(chuàng)科技有限責(zé)任公司在日本正式成立，主要從事先進(jìn)半導(dǎo)體技術(shù)的研發(fā)與引入。

目前，捷佳偉創(chuàng)在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域已經(jīng)取得初步成果。根據(jù)中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會統(tǒng)計(jì)，2019年，捷佳偉創(chuàng)位列中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)十強(qiáng)單位、中國電子專用設(shè)備行業(yè)十強(qiáng)單位。

捷佳偉創(chuàng)表示，本次首批半導(dǎo)體清洗設(shè)備的成功交付，實(shí)現(xiàn)了公司在戰(zhàn)略路線上的再次超越，從光伏裝備設(shè)計(jì)及制造往泛半導(dǎo)體及半導(dǎo)體行業(yè)的拓展，也將成為國家集成電路裝備國產(chǎn)化新的主力軍。

封面圖片來源：拍信網(wǎng)