據(jù)晶盛機(jī)電官微消息,7月20日,晶盛機(jī)電晶體實驗室用自主研發(fā)的國內(nèi)首臺12英寸硬軸直拉爐成功研出首顆12英寸硅單晶。
晶盛機(jī)電表示,這是繼2020年8月國內(nèi)首臺8英寸硬軸直拉爐生長出8英寸硅單晶之后,再次在半導(dǎo)體級硅單晶生長裝備上取得的重要技術(shù)進(jìn)展,也為國內(nèi)大硅片行業(yè)技術(shù)升級提供了裝備保障。
消息顯示,研發(fā)團(tuán)隊總結(jié)8英寸硬軸爐的研發(fā)試制經(jīng)驗以及鞏固原有技術(shù)的基礎(chǔ)。經(jīng)過近一年的持續(xù)攻關(guān),終得以解決硬軸單晶爐高真空、高精度及傳動過程震動消除等諸多技術(shù)難題,實現(xiàn)了高穩(wěn)定性晶體生長環(huán)境,并為12英寸硅單晶體內(nèi)微缺陷控制和徑向均勻性的提高提供了技術(shù)支撐。
據(jù)了解,晶盛機(jī)電依托兩項國家科技重大02專項課題(“300mm硅單晶直拉生長裝備的開發(fā)”和“8英寸區(qū)熔硅單晶爐國產(chǎn)設(shè)備研制”),15年專注于半導(dǎo)體硅單晶生長裝備研發(fā)以及發(fā)展發(fā)展LED襯底材料,相繼開發(fā)出全自動單晶生長爐、多晶鑄錠爐、區(qū)熔硅單晶爐、藍(lán)寶石爐、碳化硅爐等晶體生長設(shè)備,同時開發(fā)銷售晶體加工、光伏電池和組件等裝備。
根據(jù)7月19日晶盛機(jī)電披露的投資者關(guān)系活動記錄表,該公司目前基本實現(xiàn)8英寸晶片端長晶到加工的全覆蓋,且已實現(xiàn)量產(chǎn)和批量出貨;12英寸單晶硅生長爐、滾磨設(shè)備、截斷設(shè)備、研磨設(shè)備、邊緣拋光設(shè)備已通過客戶驗證,并取得良好反響,12英寸單晶硅生長爐及部分加工設(shè)備已實現(xiàn)批量銷售,其他加工設(shè)備也陸續(xù)客戶驗證中。
半年度業(yè)績預(yù)告顯示,2021年上半年晶盛機(jī)電預(yù)計歸屬于上市公司股東的凈利潤5.53億元–6.36億元,同比增長100%–130%。晶盛機(jī)電表示,上半年受益于國內(nèi)光伏行業(yè)的持續(xù)發(fā)展,下游硅片廠商積極推進(jìn)擴(kuò)產(chǎn)進(jìn)度,公司把握行業(yè)發(fā)展趨勢,加強(qiáng)市場開拓,提升服務(wù)品質(zhì),實現(xiàn)訂單量、營業(yè)收入規(guī)模及經(jīng)營業(yè)績同比大幅增長。
封面圖片來源:拍信網(wǎng)