東方晶源官方消息顯示，6月30日，東方晶源在北京總部隆重舉行國(guó)內(nèi)首臺(tái)關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備（CD-SEM）出機(jī)儀式，正式宣布斬獲訂單并出機(jī)中芯國(guó)際。

新聞稿表示，此次出機(jī)儀式，標(biāo)志著東方晶源繼2019年攻克電子束缺陷檢測(cè)技術(shù)后，再一次取得重大產(chǎn)品技術(shù)突破，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備（CD-SEM）的市場(chǎng)空白。

圖片來(lái)源：東方晶源

據(jù)介紹，東方晶源此次出機(jī)的關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備（型號(hào)：SEpA-c410）面向300mm硅片工藝制程，通過(guò)先進(jìn)的電子束成像系統(tǒng)和高速硅片傳輸方案，搭配精準(zhǔn)的量測(cè)算法，可實(shí)現(xiàn)高重復(fù)精度、高分辨率及高產(chǎn)能的關(guān)鍵尺寸量測(cè)。進(jìn)駐中芯國(guó)際后，將通過(guò)實(shí)際產(chǎn)線驗(yàn)證，進(jìn)一步提升、完善設(shè)備性能，向產(chǎn)業(yè)化目標(biāo)整體邁進(jìn)。

新聞稿稱，這是東方晶源繼首臺(tái)電子束缺陷檢測(cè)設(shè)備進(jìn)駐中芯國(guó)際產(chǎn)線后，首臺(tái)關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備能夠進(jìn)入中芯國(guó)際12英寸產(chǎn)線驗(yàn)證。

圖片來(lái)源：東方晶源

資料顯示，東方晶源成立于2014年，總部位于北京亦莊經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)，專注于芯片制造關(guān)鍵環(huán)節(jié)的良率控制和提升領(lǐng)域，成功自主研發(fā)的核心產(chǎn)品系列包括計(jì)算光刻產(chǎn)品（OPC）、電子束缺陷檢測(cè)裝備（EBI）、關(guān)鍵尺寸量測(cè)裝備（CD-SEM）等。

東方晶源在新聞稿中指出，公司旗下計(jì)算光刻系列軟件（OPC）、電子束缺陷檢測(cè)設(shè)備（EBI）均已通過(guò)國(guó)際大廠產(chǎn)線驗(yàn)證并實(shí)現(xiàn)訂單收入。目前，東方晶源已經(jīng)與國(guó)內(nèi)大部分有市場(chǎng)影響力的晶圓代工企業(yè)建立合作關(guān)系。

封面圖片來(lái)源：東方晶源