2019年，日本對(duì)韓國(guó)實(shí)施氟化氫、光阻劑和聚酰亞胺限制出口，這也促進(jìn)了韓國(guó)的光刻膠自立。根據(jù)韓媒的最新消息，韓國(guó)已經(jīng)成功打造自主產(chǎn)線(xiàn)，對(duì)日本關(guān)鍵原料的進(jìn)口度明顯降低。

韓國(guó)產(chǎn)業(yè)通商資源部周一公布，2018年，自日本進(jìn)口氟化氫總額為6686萬(wàn)美元，2020年大幅降至938萬(wàn)美元，為17年來(lái)首度低于1000萬(wàn)美元。在此期間，韓國(guó)進(jìn)口日制氟化氫占氟化氫進(jìn)口總量的比率，也從32.2%銳減至12.8%。

報(bào)道指出，韓國(guó)進(jìn)口日制氟化氫急遽減少，主因是韓國(guó)企業(yè)成功提高自制率，并改覓新供應(yīng)鏈來(lái)源。例如，韓國(guó)半導(dǎo)體化學(xué)材料供應(yīng)商SoulBrain將氫氟酸水溶液產(chǎn)量增加一倍，半導(dǎo)體與面板特殊氣體供應(yīng)商SK Materials也開(kāi)始生產(chǎn)氟化氫氣體。

光阻劑和氟化聚酰亞胺呈現(xiàn)同樣的趨勢(shì)，韓國(guó)政府已吸引杜邦和東京應(yīng)化工業(yè)赴該國(guó)投資，在當(dāng)?shù)厣a(chǎn)EUV制程所需的光阻劑。韓國(guó)化學(xué)品制造商Kolon Industries和鮮京化學(xué)(SKC)亦具有生產(chǎn)氟化聚酰亞胺的能力。

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