近期，上海新陽的光刻機(jī)設(shè)備采購進(jìn)展顯著。數(shù)天前，上海新陽公告披露，其采購的ASML-1400光刻機(jī)設(shè)備順利交付并已進(jìn)入合作方場地；如今，公告再披露其旗下參股子公司購得ASML XT 1900 Gi型二手光刻機(jī)一臺。

3月12日，上海新陽發(fā)布關(guān)于采購購ASML XT 1900 Gi型光刻機(jī)的公告。公告顯示，近日，公司旗下參股子公司上海芯刻微材料技術(shù)有限責(zé)任公司（以下簡稱“芯刻微”）委托盛吉盛（寧波）半導(dǎo)體材料有限公司（以下簡稱“盛吉盛”）代理投標(biāo)，成功中標(biāo)，購得ASML XT 1900 Gi型二手光刻機(jī)一臺，該設(shè)備可用于研發(fā)分辨率達(dá)28nm的高端光刻膠。

公告指出，3月11日，芯刻微公司向盛吉盛支付10%首期貨款購入該光刻機(jī)，剩余90%六個(gè)月內(nèi)付清。后續(xù)公司將啟動(dòng)設(shè)備的運(yùn)輸及相關(guān)安裝調(diào)試等工作。

圖片來源：上海新陽公告截圖

據(jù)了解，芯刻微原是上海新陽的全資子公司，2020年8月，上海新陽與與芯刻微、上海超成材料科技有限公司（以下簡稱“超成科技”）簽署《增資及股權(quán)轉(zhuǎn)讓協(xié)議》。增資及股權(quán)轉(zhuǎn)讓完成后，上海新陽持有芯刻微38%的股權(quán)，超成科技持有芯刻微62%的股權(quán)，超成科技是上海新陽的控股股東新加坡新陽旗下全資子公司。

上述增資及股權(quán)轉(zhuǎn)讓完成后，未來芯刻微將僅進(jìn)行ArF濕法光刻膠項(xiàng)目的研發(fā)，所有與ArF干法光刻膠相關(guān)的資產(chǎn)、人員、合同權(quán)利義務(wù)等將轉(zhuǎn)移至上海新陽。上海新陽將繼續(xù)投入資金進(jìn)行ArF干法光刻膠的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目。

上海新陽表示，集成電路制造用ArF濕法光刻膠產(chǎn)品技術(shù)要求高、投資需求大，公司為加速集成電路制造用高端光刻膠全品類的國產(chǎn)化進(jìn)程，減少上市公司業(yè)績壓力，通過參股子公司芯刻微進(jìn)行ArF濕法光刻膠的研發(fā)，并與協(xié)議各方承諾未來通過向公司進(jìn)行股權(quán)轉(zhuǎn)讓或技術(shù)轉(zhuǎn)讓等方式避免可能的同業(yè)競爭。

對于這次芯刻微購得ASML XT 1900 Gi型二手光刻機(jī)設(shè)備，上海新陽在公告中指出，公司作為國內(nèi)集成電路制造關(guān)鍵工藝材料供應(yīng)商，自立項(xiàng)進(jìn)行光刻膠項(xiàng)目研發(fā)以來，將突破集成電路高端光刻膠國外壟斷，實(shí)現(xiàn)集成電路高端光刻膠材料的國產(chǎn)化作為發(fā)展目標(biāo)，在ArF干法、KrF厚膜及I線光刻膠方面已有技術(shù)與產(chǎn)品的突破。

通過子公司芯刻微開展的ArF濕法光刻膠項(xiàng)目研發(fā)也已引進(jìn)了核心技術(shù)專家團(tuán)隊(duì)，為ArF濕法光刻膠項(xiàng)目的開發(fā)提供了技術(shù)保障，現(xiàn)公司采購的ASML浸沒式光刻機(jī)設(shè)備是對公司ArF濕法光刻膠技術(shù)先進(jìn)性的設(shè)備保障，對加快公司集成電路制造用光刻膠產(chǎn)品研發(fā)項(xiàng)目進(jìn)度有積極影響，有利于進(jìn)一步提升公司光刻膠產(chǎn)品的核心競爭力，加速落實(shí)公司發(fā)展戰(zhàn)略，提高公司抗風(fēng)險(xiǎn)能力和可持續(xù)發(fā)展能力。

不過，公告亦提示稱，本次購買的光刻機(jī)尚須經(jīng)過運(yùn)輸、裝機(jī)、調(diào)試及投入相關(guān)配套設(shè)施，若以上環(huán)節(jié)出現(xiàn)工作疏漏或失誤則存在造成所購買的光刻機(jī)投入使用的過程較長甚至無法投入使用的風(fēng)險(xiǎn)。光刻膠產(chǎn)品在集成電路材料中技術(shù)難度大，質(zhì)量要求最高，開發(fā)周期長， 且核心技術(shù)及原材料幾乎被國外廠商所壟斷。因此，存在著研發(fā)失敗和研發(fā)計(jì)劃滯后的風(fēng)險(xiǎn)。

封面圖片來源：拍信網(wǎng)