上海臨港產(chǎn)業(yè)區(qū)消息顯示,3月10日,眾鴻半導(dǎo)體項目簽約儀式在臨港產(chǎn)業(yè)區(qū)舉辦,該項目正式簽約入駐臨港產(chǎn)業(yè)區(qū)。
眾鴻半導(dǎo)體項目主要進行光刻工藝的主設(shè)備——涂膠顯影設(shè)備的國產(chǎn)化研發(fā),現(xiàn)計劃入駐臨港產(chǎn)業(yè)區(qū)鉆石園8-2廠房進行設(shè)備的批量生產(chǎn)使用。

圖片來源:上海臨港產(chǎn)業(yè)區(qū)
2019年,眾鴻已在臨港產(chǎn)業(yè)區(qū)新僑產(chǎn)業(yè)園注冊成立研發(fā)中心,2020-2022年自研涂膠顯影設(shè)備研發(fā)完成并量產(chǎn)化?,F(xiàn)計劃在臨港產(chǎn)業(yè)區(qū)鉆石園新增生產(chǎn)廠房作為設(shè)備量產(chǎn)場所,2021-2023計劃投入12英寸涂膠顯影設(shè)備以及其他半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)并量產(chǎn)化。
據(jù)介紹,眾鴻是一家集科研、生產(chǎn)、經(jīng)營于一體的高新技術(shù)民營企業(yè),在半導(dǎo)體集成電路設(shè)備制造領(lǐng)域涉獵設(shè)備再制造、軟硬件優(yōu)化產(chǎn)能提升、核心配件維修等服務(wù)。眾鴻拳頭產(chǎn)品是專用光阻涂膠顯影設(shè)備,該設(shè)備廣泛應(yīng)用于硅片(Si)、化合物半導(dǎo)體等集成電路制造領(lǐng)域。
封面圖片來源:拍信網(wǎng)