3月8日，上海新陽發(fā)布公告披露其購買光刻機設備進展情況。

公告顯示，公司自立項開發(fā)193nmArF干法光刻膠的研發(fā)及產業(yè)化項目以來，安排購買了ASML-1400光刻機等核心設備，并于2020年12月14日在《關于公司申請向特定對象發(fā)行股票的審核問詢函的回復》中披露，該光刻機將于2020年底前運抵國內。

后由于公司與光刻機供應商、北方集成電路技術創(chuàng)新中心（北京）有限公司（以下簡稱“合作方”）溝通協(xié)調設備運輸與安裝等細節(jié)，致使設備沒能在規(guī)定時間內運達，但與合作方就具體合作細節(jié)簽署了《合作框架協(xié)議》，預計該光刻機將于2021年3月底前進入合作方現(xiàn)場。

現(xiàn)經各方積極協(xié)商、運作，該光刻機設備于今日（3月8日）已進入合作方北方集成電路技術創(chuàng)新中心（北京）有限公司場地，后續(xù)將進行安裝調試等相關工作。

上海新陽表示，公司采購的ASML干法光刻機設備順利交付，對加快193nmArF干法光刻膠產品開發(fā)進度有積極影響，有利于進一步提升公司光刻膠產品的核心競爭 力，加快落實公司發(fā)展戰(zhàn)略，提高公司抗風險能力和可持續(xù)發(fā)展能力。 

該光刻機尚須經過裝機、調試等相關環(huán)節(jié)，若相關環(huán)節(jié)出現(xiàn)工作疏漏或 失誤則存在造成所購買的光刻機投入使用的過程較長甚至無法投入使用的風險。

光刻膠研發(fā)項目技術壁壘高、周期長、至產業(yè)化并最終實現(xiàn)銷售利潤仍需一定時間，而公司購買的光刻機設備價格昂貴，其折舊及后續(xù)維護費用預計對公司的經營業(yè)績存在一定影響。

封面圖片來源：拍信網(wǎng)