打破國外設備廠商在高端CMP（化學機械拋光）設備的壟斷、團隊先后承擔“十一五”及“十二五”國家科技重大專項、累計獲得專利104項包括發(fā)明專利70項……近日，記者獲悉，在集成電路領域創(chuàng)造一系列顯赫成績的華海清科（北京）科技有限公司（以下簡稱“華海清科”）落戶經(jīng)開區(qū)，計劃投資8億元建設占地4萬平方米的高端裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目，開展CMP設備、減薄機的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，以及再生晶圓代工業(yè)務。

今年以來，經(jīng)開區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)招商工作進展迅速、成果顯著。除了華海清科，富創(chuàng)精密、北京亦盛、國望光學等6個項目也將陸續(xù)在區(qū)內(nèi)落地，加上此前已經(jīng)落地的江豐科技濺射靶材及關鍵零部件項目、北京凱德高端石英制品產(chǎn)業(yè)化項目和屹唐半導體集成電路裝備研發(fā)制造中心等3個項目，已經(jīng)有10個集成電路裝備材料項目集中落地。

“高精尖”是10個集成電路裝備材料項目共同的標簽。除了打破國際壟斷的華海清科以外，江豐科技的濺射靶材及關鍵零部件項目和北京凱德高端石英制品產(chǎn)業(yè)化項目，建成后將填補經(jīng)開區(qū)超高純金屬靶材和集成電路用高端石英制品領域空白。而富創(chuàng)精密設備有限公司客戶幾乎涵蓋所有我國IC裝備制造行業(yè)的領軍企業(yè)，已通過業(yè)界最權威的半導體裝備廠商——美國應用材料公司、日本東京電子TEL質量體系審核，累計通過美國應材表面特殊制程認證68項，位居亞洲第一，成為國內(nèi)唯一一家被世界排名前兩位的裝備廠商認證的戰(zhàn)略供應商，將在區(qū)內(nèi)建設國內(nèi)一流的半導體裝備零部件全工藝智能制造生產(chǎn)基地。

經(jīng)開區(qū)在亦莊新城范圍內(nèi)，通過底圖疊合、指標統(tǒng)合、政策整合，構筑各具特色、疏密有度、功能綜合的十大城市功能組團，打造產(chǎn)業(yè)要素與城市協(xié)同發(fā)展的新型“產(chǎn)業(yè)社區(qū)”，實現(xiàn)產(chǎn)城良性互動。為加快培育自主的產(chǎn)業(yè)體系，經(jīng)開區(qū)在馬駒橋智造園區(qū)內(nèi)規(guī)劃了集成電路裝備產(chǎn)業(yè)園，充分發(fā)揮產(chǎn)業(yè)“組團”優(yōu)勢，增強發(fā)展新動能，加緊謀劃產(chǎn)業(yè)鏈的數(shù)字化轉型，推動產(chǎn)業(yè)集聚發(fā)展。

集成電路產(chǎn)業(yè)已經(jīng)成為我國長期堅持推動的國家戰(zhàn)略任務，經(jīng)開區(qū)作為全國集成電路產(chǎn)業(yè)聚集度最高、技術水平最先進的區(qū)域之一，現(xiàn)已形成以中芯國際、北方華創(chuàng)為龍頭，包括設計、晶圓制造、封裝測試、裝備、零部件及材料等完備的集成電路產(chǎn)業(yè)鏈，產(chǎn)業(yè)規(guī)模占到北京市的一半，率先在國內(nèi)建成首條12英寸集成電路晶圓生產(chǎn)線，一批代表企業(yè)及研究機構承接了系列國家重大科技專項任務，在關鍵裝備及材料、先進工藝開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化等方面取得一批代表國家最高水平的成果。

封面圖片來源：拍信網(wǎng)