8月26日,據(jù)山東新聞網(wǎng)報(bào)道,山東有研集成電路用大尺寸硅材料規(guī)?;a(chǎn)一期項(xiàng)目正在進(jìn)行最后的“沖刺”收尾,130余臺(tái)套工藝設(shè)備陸續(xù)進(jìn)場(chǎng),部分生產(chǎn)線已進(jìn)入試運(yùn)行階段。
山東有研集成電路用大尺寸硅材料規(guī)?;a(chǎn)項(xiàng)目總工程師肖清華表示,該項(xiàng)目設(shè)計(jì)的產(chǎn)品是6英寸和8英寸硅片,年產(chǎn)大概450萬(wàn)片,其規(guī)模是在北京原廠的基礎(chǔ)上,翻了一倍。
資料顯示,有研集成電路用大尺寸硅材料規(guī)模化生產(chǎn)項(xiàng)目由有研科技集團(tuán)、日本RST株式會(huì)社控股的有研半導(dǎo)體材料有限公司出資,山東有研半導(dǎo)體材料有限公司建設(shè)。
據(jù)悉,有研科技集團(tuán)是國(guó)資委管理的96家央企之一和國(guó)內(nèi)有色金屬行業(yè)規(guī)模最大的綜合性研究開(kāi)發(fā)機(jī)構(gòu),在國(guó)內(nèi)唯一掌握18英寸硅單晶技術(shù)、12英寸硅片技術(shù),率先實(shí)現(xiàn)8英寸硅片商業(yè)化,12—18英寸硅單晶產(chǎn)品可滿足全球最先進(jìn)的半導(dǎo)體設(shè)備應(yīng)用要求。
該項(xiàng)目是山東2019年省級(jí)重點(diǎn)項(xiàng)目,總投資約80億元,分兩期建設(shè)。其中,一期新建8英寸硅片生產(chǎn)線,年產(chǎn)能達(dá)180萬(wàn)片,二期規(guī)劃12英寸硅片生產(chǎn)線,年產(chǎn)能360萬(wàn)片。
據(jù)山東有研半導(dǎo)體材料公司總經(jīng)理張果虎此前介紹,該項(xiàng)目規(guī)模是北方最大的半導(dǎo)體材料基地。2019年3月份,項(xiàng)目舉行開(kāi)工儀式,2019年12月18日,該項(xiàng)目正式舉行封頂儀式。如今,項(xiàng)目一期進(jìn)入最后收尾階段,意味著該項(xiàng)目正在按照原計(jì)劃順利有序進(jìn)行。
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