據(jù)華海清科官方公眾號(hào)消息，7月30日，華海清科CMP國產(chǎn)設(shè)備在單一客戶中芯國際生產(chǎn)晶圓突破百萬片。

據(jù)了解，華海清科第一臺(tái)設(shè)備于2015年8月4日進(jìn)入中芯國際，與中芯國際團(tuán)隊(duì)密切合作，深入交流，短短半年通過驗(yàn)證，迅速取得了多臺(tái)CMP訂單。CMP工藝做到了全覆蓋，包括SI，ILD，STI，BSI，W，POLY，Cu，不斷刷新著國產(chǎn)CMP設(shè)備在中芯量產(chǎn)破百片、破千片、破萬片，突破百萬片的加速度，同時(shí)也打破了CMP設(shè)備依靠國外進(jìn)口壁壘。目前，華海清科CMP設(shè)備已批量進(jìn)入國內(nèi)各大集成電路生產(chǎn)線。

公開資料顯示，華海清科成立于2013年，是天津市政府與清華大學(xué)踐行“京津冀一體化”國家戰(zhàn)略，為推動(dòng)我國化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）技術(shù)和設(shè)備產(chǎn)業(yè)化成立的高科技企業(yè)。公司控股股東為清控創(chuàng)業(yè)投資有限公司，實(shí)際控制人為清華大學(xué)。

該公司主要從事CMP設(shè)備和工藝及配套耗材的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務(wù)，核心團(tuán)隊(duì)成員來自清華大學(xué)摩擦學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室及業(yè)內(nèi)專業(yè)人才，產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于極大規(guī)模集成電路制造、封裝、微機(jī)電系統(tǒng)制造、晶圓平坦化、基片制造等領(lǐng)域。

官網(wǎng)資料顯示，華海清科持續(xù)研發(fā)出Universal-200Plus、Universal-300Plus等系列產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)了8-12英寸晶圓拋光設(shè)備規(guī)格型號(hào)覆蓋，截至目前已有多臺(tái)CMP設(shè)備進(jìn)入國內(nèi)先進(jìn)集成電路大生產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)拋光裝備的規(guī)?；圃炫c產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。

根據(jù)中國國際招標(biāo)網(wǎng)，華虹無錫項(xiàng)目、上海華力二期的設(shè)備招投標(biāo)工作自3月啟動(dòng)，中微半導(dǎo)體、北方華創(chuàng)、華海清科等獲得多個(gè)設(shè)備訂單，引領(lǐng)設(shè)備國產(chǎn)化。其中，華海清科近期在華虹半導(dǎo)體（無錫）項(xiàng)目獲得3臺(tái)CMP，累計(jì)獲得5臺(tái)CMP訂單，在該產(chǎn)線的CMP 的市占率是38%。此外，華海清科還中標(biāo)上海新昇1臺(tái)CMP設(shè)備。

據(jù)悉，華海清科正在進(jìn)行科創(chuàng)板上市工作。

根據(jù)5月15日，天津證監(jiān)局披露的華海清科首次公開發(fā)行股票（并在科創(chuàng)板上市）接受輔導(dǎo)公告顯示，國泰君安證券股份有限公司已于5月12日與華海清科簽署首次公開發(fā)行股票（并在科創(chuàng)板上市）的輔導(dǎo)協(xié)議。

封面圖片來源：拍信網(wǎng)