今年，至純科技半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備交付能力開始增強(qiáng)。

至純科技官方微信公眾號(hào)發(fā)布的消息顯示，6月19日，隨著交付給華虹集團(tuán)ICRD有著特殊清洗要求的300MM單片式濕法設(shè)備搬入，2020年上半年，至純旗下至微科技的單片清洗和槽式濕法設(shè)備在二季度出機(jī)超過了十臺(tái)。而去年全年完成近20臺(tái)設(shè)備裝機(jī)，交付速度明顯加快。

至純科技從2017年投入半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備槽式裝備和單片裝備的研發(fā)，至2019年末，已經(jīng)完成了多個(gè)工藝的8英寸及12英寸全自動(dòng)槽式裝備，8英寸及12英寸4腔單片裝備，12英寸12腔先進(jìn)工藝單片裝備的研發(fā)及制造?？蛻粢褦U(kuò)展到國內(nèi)外半導(dǎo)體行業(yè)如中芯國際、德州儀器、臺(tái)灣力晶等知名企業(yè)，訂單逐年增加。

6月23日至純科技公告定增14.9億元的申請已得到證監(jiān)會(huì)受理，一旦多家國資半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)投資基金戰(zhàn)投9.7億元成功，將助力公司在國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中的國產(chǎn)化替代加快，包括高純工藝系統(tǒng)在內(nèi)的公司整個(gè)半導(dǎo)體領(lǐng)域業(yè)務(wù)或?qū)⒏咚僭鲩L。

半導(dǎo)體清洗設(shè)備交付加快

將背面的金屬污染物清除，把顆粒洗凈，讓晶圓以最佳狀態(tài)進(jìn)曝光機(jī)，避免曝光機(jī)因晶圓背面缺陷問題(金屬和顆粒)，把停機(jī)的時(shí)間降到最低。清洗設(shè)備在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中起到關(guān)鍵作用，而制程越先進(jìn)對小尺寸污染物的清洗要求越高。

至純科技半導(dǎo)體業(yè)務(wù)主要就是半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備業(yè)務(wù)，包括槽式設(shè)備（槽數(shù)量按需配置）及單片機(jī)設(shè)備（8-12反應(yīng)腔），該設(shè)備均為可提供8-12寸晶圓制造的濕法工藝設(shè)備。

目前中國市場和國際市場范圍內(nèi)，主要的濕法設(shè)備廠商以日本和歐美為主，國內(nèi)目前有至純科技、北方華創(chuàng)和盛美在濕法工藝設(shè)備端提供中高階濕法制程設(shè)備，分別是，但占比合計(jì)不到10%。所以濕法工藝設(shè)備的國產(chǎn)化替代潛力很大。

進(jìn)過三年的研發(fā)之后，目前至純科技的單片濕法清洗設(shè)備在晶圓表面顆粒清洗能力以及每小時(shí)的產(chǎn)出量上，機(jī)臺(tái)性能和工藝將可以支持到14nm以下的工藝技術(shù)節(jié)點(diǎn)。近期互動(dòng)平臺(tái)上，公司直言，槽式濕法設(shè)備在質(zhì)量上與國際水平相當(dāng)乃至優(yōu)于國際水平。

2018年至純科技開始開拓半導(dǎo)體業(yè)務(wù)業(yè)務(wù)，近兩三年的發(fā)展已逐漸壯大。2018年公司濕法工藝裝備的新增業(yè)務(wù)訂單總額為人民幣1.1億元，而到了2019年達(dá)到約人民幣1.7億，該部分訂單將于2020年及之后獲得收入。

截至去年底，已經(jīng)取得近40臺(tái)正式訂單，已經(jīng)完成近20臺(tái)設(shè)備裝機(jī)，包含濕法刻蝕、清洗、金屬剝離、晶圓回收等多個(gè)工藝。其中2018年和2019年公司對中芯集成的銷售額分別為1714.4萬元、4311.88萬元（2019年公司合計(jì)獲得半導(dǎo)體設(shè)備收入8166.24萬元）。

6月22日，根據(jù)至純科技披露的資料顯示，2020年3月起至今，至純科技旗下至微科技以每月2-3臺(tái)8寸及12寸濕法工藝設(shè)備交付給客戶，交付客戶包括華潤微、楚微，中車，燕東，臺(tái)灣力積電等。證明公司濕法工藝設(shè)備交付速度明顯加快。

截至2019年末，至純科技主要在建項(xiàng)目有江蘇啟微高純工藝專業(yè)生產(chǎn)設(shè)備項(xiàng)目、松江區(qū)中山街道工業(yè)園ZS-13-004號(hào)地塊工程(波匯科技松江總部及研發(fā)中心項(xiàng)目)、半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造項(xiàng)目、晶圓再生項(xiàng)目，總投資分別為5億元、4.5億元、1.8億元、2.1億元，其中江蘇啟微高純工藝專業(yè)生產(chǎn)設(shè)備項(xiàng)目設(shè)計(jì)總產(chǎn)能包括清洗刻蝕設(shè)備40臺(tái)、特氣柜500臺(tái)等，半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造項(xiàng)目設(shè)計(jì)總產(chǎn)能將新增半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備30臺(tái)、單片式半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備10臺(tái)，建成之后公司的產(chǎn)能將得以大幅增加。

新增訂單大幅增長

此前高純工藝集成系統(tǒng)一直是至純科技主要營收，高純工藝系統(tǒng)下游產(chǎn)業(yè)也包括半導(dǎo)體行業(yè)、光伏產(chǎn)業(yè)和醫(yī)藥及食品飲料類等。目前公司高純工藝系統(tǒng)已經(jīng)切入一線用戶，有中芯國際、華虹、華潤、士蘭微、長江存儲(chǔ)、長鑫存儲(chǔ)、海力士，三星，臺(tái)積電，力晶等等。半導(dǎo)體領(lǐng)域產(chǎn)品客戶相同，所以公司半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備開拓較為順利。

2017年至純科技上市后就開始了資本運(yùn)作，先收購琺成制藥（2019年接近完成了對琺成制藥100%的股權(quán)收購），2019年4月，再以現(xiàn)金6.8億元收購匯波科技100%股權(quán)，完成了搭建“半導(dǎo)體+生物制藥+光電子”三個(gè)板塊布局。

至此公司業(yè)務(wù)暴增，2017-2019年至純科技新增業(yè)務(wù)訂單總金額達(dá)6.7億元、9.1億元、14.2億，新增訂單額比上一年度增長約100%、35.82%、56%。去年公司整體實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入和凈利潤分別為9.86億元、1.10億元，較上年同期分別增加46.34%、239.88%。

但半導(dǎo)體始終是公司的重要業(yè)務(wù)，高純工藝系統(tǒng)、濕法設(shè)備及晶圓再生服務(wù)、電子材料及部件均服務(wù)于半導(dǎo)體板塊，服務(wù)于同一批客戶。2018-2020年前3月公司半導(dǎo)體營收4.29億元、3.76億元、0.18億元，毛利率分別為24.74%、30.02%、51.27%，毛利率已大幅增長。

今年4月30日，至純科技發(fā)布股票發(fā)行預(yù)案，擬募資不超過（含）人民幣14.9億元，其中北京集成電路基金、中芯涌久、津聯(lián)海河、國改基金合計(jì)投資金額達(dá)到9.7億元，四家基金均為國資專門推動(dòng)半導(dǎo)體等行業(yè)國產(chǎn)化而設(shè)立的股權(quán)投資基金，已投資國內(nèi)多家半導(dǎo)體企業(yè)。

預(yù)案公告中，至純科技稱引入上述機(jī)構(gòu)戰(zhàn)投將為公司對接高純工藝系統(tǒng)及半導(dǎo)體濕法清洗裝備業(yè)務(wù)下游客戶資源，助力公司獲取半導(dǎo)體行業(yè)的戰(zhàn)略合作機(jī)會(huì)和業(yè)務(wù)訂單，以促進(jìn)公司的國產(chǎn)供應(yīng)鏈替代的加速實(shí)現(xiàn)。

封面圖片來源：拍信網(wǎng)