2018世界制造業(yè)大會(huì)期間，合盟精密工業(yè)（合肥）有限公司集成電路配套產(chǎn)業(yè)園建設(shè)項(xiàng)目落戶合肥經(jīng)開(kāi)區(qū)，為合肥“中國(guó)IC之都”再添新引擎。如今項(xiàng)目生產(chǎn)的半導(dǎo)體硅材加工制品已進(jìn)入樣品試制階段，將填補(bǔ)國(guó)內(nèi)高端硅零部件產(chǎn)品方面的空白。

走進(jìn)合肥經(jīng)開(kāi)區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)園，一派如火如荼的建設(shè)景象映入眼簾。在合盟精密明亮整潔的生產(chǎn)車(chē)間內(nèi)，硅原材料初始加工后，經(jīng)過(guò)鉆孔、拋光、清洗等一系列工藝流程，進(jìn)入包裝出貨環(huán)節(jié)。“比如清洗等步驟要在無(wú)塵的潔凈室內(nèi)完成，對(duì)溫度和濕度有著較高的要求。”合盟精密工業(yè)（合肥）有限公司總經(jīng)理鄭人豪告訴記者，相對(duì)于一般的自動(dòng)化工廠，這里除了一流的高端機(jī)器設(shè)備，更離不開(kāi)工程師的“匠人工藝”。

在半導(dǎo)體制程中，蝕刻是一道重要工序，硅環(huán)和硅片則是其中的關(guān)鍵部件。“目前國(guó)內(nèi)高端硅零部件主要依賴(lài)進(jìn)口，隨著項(xiàng)目的落地推進(jìn)，我們將填補(bǔ)這方面的空白。”鄭人豪表示，合肥地理位置優(yōu)越，交通四通八達(dá)，更重要的是近年來(lái)集成電路產(chǎn)業(yè)加速崛起，未來(lái)發(fā)展空間和潛力巨大。“在合肥，我們不只是新設(shè)基地，未來(lái)將深耕于此，就近服務(wù)客戶并輻射全國(guó)。”

合盟精密由中國(guó)臺(tái)灣半導(dǎo)體知名企業(yè)漢民科技與日本芝技研株式會(huì)社合資成立，后期世界500強(qiáng)企業(yè)——日本三菱材料也計(jì)劃參與投資。項(xiàng)目總投資3000萬(wàn)美元，主要從事硅環(huán)和硅片的生產(chǎn)和制造，為全球第二大半導(dǎo)體設(shè)備公司日本東京電子配套。

“自簽約以來(lái)，項(xiàng)目進(jìn)展良好，其中一期占地2000平方米，目前處在樣品試制驗(yàn)證階段，計(jì)劃今年四季度試生產(chǎn)。”漢民科技（上海）有限公司項(xiàng)目經(jīng)理謝志坤說(shuō)，根據(jù)規(guī)劃，2022年項(xiàng)目產(chǎn)值將達(dá)到2億元，生產(chǎn)的硅材料可滿足一半國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的供貨需求。

“該項(xiàng)目投產(chǎn)后，預(yù)計(jì)年內(nèi)合肥半導(dǎo)體制造企業(yè)有望用上‘合肥造’的硅零部件。”在合肥經(jīng)開(kāi)區(qū)招商局副局長(zhǎng)孫鴻飛看來(lái)，合盟精密落戶合肥經(jīng)開(kāi)區(qū)，對(duì)全國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈?zhǔn)且粋€(gè)補(bǔ)鏈、強(qiáng)鏈的過(guò)程。近年來(lái)，我市持續(xù)完善“合肥芯”“合肥產(chǎn)”“合肥用”產(chǎn)業(yè)鏈條，其中，合肥經(jīng)開(kāi)區(qū)圍繞存儲(chǔ)芯片打造集成電路產(chǎn)業(yè)生態(tài)系統(tǒng)，已匯聚兆易創(chuàng)新、通富微電、韓國(guó)美科、康佳半導(dǎo)體等20余家知名企業(yè)集聚發(fā)展，助力合肥朝著“中國(guó)IC之都”闊步邁進(jìn)。

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