日前，一根長1.5米、重達(dá)270公斤的12英寸半導(dǎo)體級(jí)硅單晶棒經(jīng)過超高溫作業(yè)后在這里出爐，成為浙江省首根擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的量產(chǎn)型集成電路用12英寸單晶硅棒。

單晶硅棒是支撐集成電路產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)功能材料，對工藝、材料和設(shè)備都有極高要求。單晶硅棒經(jīng)切割、研磨、清洗、拋光以及外延等20多道工序制備而成的硅拋光片或硅外延片，就是芯片的“地基”。“硅片直徑越大，對材料和技術(shù)的要求就越高，制造難度也越大。”金瑞泓微電子（衢州）有限公司董事長王敏文介紹，長期以來，全球5家硅片企業(yè)占據(jù)了整個(gè)12英寸半導(dǎo)體級(jí)硅片市場97%以上的份額。到目前為止，我國集成電路用12英寸硅片正片幾乎全部依賴進(jìn)口。

“金瑞泓微電子（衢州）有限公司在硅片產(chǎn)業(yè)化的拉晶環(huán)節(jié)取得重大技術(shù)突破，補(bǔ)上了我國集成電路產(chǎn)業(yè)鏈缺失的重要一環(huán)，也能有效推動(dòng)衢州市加快成為國內(nèi)領(lǐng)先的集成電路材料產(chǎn)業(yè)基地。”衢州市經(jīng)信局相關(guān)負(fù)責(zé)人認(rèn)為，12英寸單晶硅棒的成功出爐，為下一步12英寸硅片的產(chǎn)業(yè)化奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)，對完善我國集成電路產(chǎn)業(yè)鏈具有積極意義。

去年，投資34.6億元、年產(chǎn)180萬片集成電路用12英寸硅片項(xiàng)目落戶衢州綠色產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)，項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后，預(yù)計(jì)可實(shí)現(xiàn)年銷售收入逾15億元。

目前，金瑞泓微電子（衢州）有限公司正在進(jìn)一步拓寬半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，開發(fā)高技術(shù)、高附加值的新一代半導(dǎo)體材料，重點(diǎn)發(fā)展汽車電子用芯片、電源管理IC芯片、集成電路用大硅片，努力實(shí)現(xiàn)12英寸集成電路用單晶硅片正片國產(chǎn)化“零突破”，填補(bǔ)該領(lǐng)域的國內(nèi)空白。

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