韓媒《The Elec》報道,三星計劃將用于#存儲器芯片制造的光罩(photomask)生產(chǎn)外包。此前,為了防止技術(shù)外泄,三星一直自行生產(chǎn)所需的全部光罩,但該公司正評估制造低階光罩(i-line與KrF)的潛在供應(yīng)商。
報道稱,這些供應(yīng)商包括Tekscend Photomask和PKL,前者是日本Toppan Holdings子公司,后者為美國光罩公司Photronics所擁有。報道稱,評估工作正在進(jìn)行中,預(yù)計第三季完成。
三星決定外包這款光罩有許多原因,其一是現(xiàn)有的i-line與KrF設(shè)備已經(jīng)老舊、甚至已停止生產(chǎn),因此難以取得。再來,雖擔(dān)心技術(shù)泄露,但三星在技術(shù)上已不再像以前一樣有明顯優(yōu)勢,因此將低階光罩外包并不會帶來太大的技術(shù)風(fēng)險。不過,消息人士指出,從成本角度來看,三星自行生產(chǎn)這些光罩仍更具成本效益。
根據(jù)波長進(jìn)行分類,i-line使用365納米(nm)波長,適合繪制較簡單的電路圖樣;KrF使用248nm,適用于中階分辨率;ArF則使用193nm,可應(yīng)用于比KrF更進(jìn)階的圖樣;而EUV(極紫外光)使用13.5nm,是目前最先進(jìn)的技術(shù),能繪制最微小的圖樣。
消息人士指出,透過外包,三星計劃將原本用于i-line與KrF的資源轉(zhuǎn)向投入ArF與EUV。由于ArF與EUV光罩將決定三星的技術(shù)競爭力,自然希望聚焦在更先進(jìn)的技術(shù)領(lǐng)域。
隨著芯片日益進(jìn)化,電路圖樣越來越微小,所需的光罩?jǐn)?shù)量也越來越多。以邏輯芯片為例,從10nm制程進(jìn)展到1.75nm,所需的光罩?jǐn)?shù)量預(yù)期會從67張增加到78張;過去DRAM所需的光罩約為30到40張,如今則超過60張。多重曝光(multi-patterning)技術(shù)也增加光罩使用量