根據(jù)《路透社》的報(bào)導(dǎo),日本光學(xué)大廠尼康(Nikon)于24日表示,已對(duì)荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備大廠艾司摩爾(ASML Holding NV)和合作伙伴卡爾·蔡司(Carl Zeiss AG)提起法律訴訟,并表示ASML及Carl Zeiss兩家公司在未經(jīng)Nikon的許可下將其微影(lithography)技術(shù)專利用于光刻機(jī)上,并運(yùn)用在半導(dǎo)體制造業(yè)中。
報(bào)導(dǎo)進(jìn)一步表示,世界第8大芯片設(shè)備制造商N(yùn)ikon在24日指出,已經(jīng)在荷蘭、德國(guó)和日本針對(duì)生產(chǎn)半導(dǎo)體光刻機(jī)的荷蘭廠商ASML和旗下光電供應(yīng)商Carl Zeiss提起了專利侵權(quán)案件。Nikon在一份聲明中指出,ASML和Carl Zeiss在沒有得到許可的情況之下,采用了Nikon的專利技術(shù),運(yùn)用在ASML的光刻機(jī)中。而光刻機(jī)是用在全球的半導(dǎo)體制造業(yè)中先進(jìn)制程不可缺少的設(shè)備,如此以進(jìn)一步侵犯了Nikon的專利。Nikon表示,正在尋求損害賠償,并防止ASML和Carl Zeiss出售該技術(shù)。
目前在全球的半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)中,ASML主導(dǎo)半導(dǎo)體光刻機(jī)的產(chǎn)品。根據(jù)惠譽(yù)評(píng)級(jí)(Fitch Ratings)在2017年1月份的一份研究報(bào)告中指出,這家荷蘭公司在這樣的高端的半導(dǎo)體設(shè)備中,占有90%的市場(chǎng)占有率。而根據(jù)ASML在19日所公布的2017年第1季財(cái)報(bào)顯示,第1季營(yíng)收凈利達(dá)19.4億歐元,毛利率為47.6%,EUV極紫外光微影系統(tǒng)的未出貨訂單則累積到21臺(tái),價(jià)值高達(dá)23億歐元。而且預(yù)估ASML在2017第2季營(yíng)收凈利將落在19到20億歐元之間,毛利率約為43%到44%。
ASML的總裁兼執(zhí)行長(zhǎng)Peter Wennink對(duì)于Nikon所發(fā)起的訴訟表示,Nikon所提起的訴訟不但不必要,還毫無根據(jù)。而且,這還將對(duì)于全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)造成不確定性。他進(jìn)一步指出表示,ASML已多次嘗試與Nikon協(xié)商延長(zhǎng)交叉許可協(xié)議。
Nikon則表示,法律訴訟是在由美國(guó)退休法官于2016年底進(jìn)行的調(diào)解未成之后所決定發(fā)起的。而根據(jù)Nikon的說法,提起訴訟的3項(xiàng)微影技術(shù)專利,ASML和Carl Zeiss兩家公司分別在2004年支付Nikon 8,700萬(wàn)美元和5,800萬(wàn)美元的授權(quán)金。授權(quán)期限在2009年到期,而2014年底其專利權(quán)的過渡期也到期之后,雙方在2016年底經(jīng)過調(diào)解協(xié)商延長(zhǎng)交叉許可協(xié)議未成。