據(jù)光電子先導(dǎo)院消息，3月30日，陜西光電子先導(dǎo)院先進(jìn)光子器件工程創(chuàng)新平臺(tái)在西安全面啟用。該平臺(tái)具備光子芯片制程中的光刻、刻蝕、蒸鍍等多項(xiàng)核心工藝，將為光子產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目提供產(chǎn)品研發(fā)、中試、檢測(cè)等全流程技術(shù)服務(wù)，為光子產(chǎn)業(yè)各類創(chuàng)新主體打通從產(chǎn)品研發(fā)到市場(chǎng)化批量供貨的完整鏈條。

消息顯示，先進(jìn)光子器件工程創(chuàng)新平臺(tái)占地30畝，建有中試車(chē)間、中試大樓、綜合樓和動(dòng)力站等研發(fā)和中試配套設(shè)施，總建筑面積約30000平方米，潔凈廠房3000平方米，一期專業(yè)設(shè)備100余臺(tái)（套），具備以GaAs（砷化鎵）、GaN（氮化鎵）為主線，圍繞6英寸化合物芯片工藝服務(wù)能力的柔性中試平臺(tái)。

同時(shí)，先進(jìn)光子器件工程創(chuàng)新平臺(tái)將有效解決第三代化合物半導(dǎo)體芯片制造的外延生長(zhǎng)與制程等關(guān)鍵問(wèn)題，為光電芯片、功率器件、射頻器件等芯片設(shè)計(jì)企業(yè)、高校、科研院所提供外延生長(zhǎng)、光刻、刻蝕、薄膜制備、清洗、減薄、拋光、劃片等芯片制造全流程服務(wù)。

據(jù)悉，2015年10月，陜西省科技廳、西安高新技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)與中國(guó)科學(xué)院西安光機(jī)所聯(lián)合發(fā)起成立了陜西光電子先導(dǎo)院。陜西光電子先導(dǎo)院先進(jìn)光子器件創(chuàng)新平臺(tái)系陜西省2022年重點(diǎn)建設(shè)工程。

封面圖片來(lái)源：拍信網(wǎng)