集成電路制造技術(shù)集現(xiàn)代超精細加工技術(shù)之大成，是信息產(chǎn)業(yè)的核心技術(shù)。集成電路設備，作為集成電路制造的重要基礎之一，是全上下游產(chǎn)業(yè)鏈的重要環(huán)節(jié)，更是眾多企業(yè)競爭的戰(zhàn)略制高點。人工智能、大數(shù)據(jù)、物聯(lián)網(wǎng)等新勢能的崛起，提升了對半導體設備精密性的要求，更將設備業(yè)推向欣欣向榮的發(fā)展階段。在這波國際浪潮中，中國設備產(chǎn)業(yè)從“自力更生”的創(chuàng)業(yè)階段，走過了“引進與轉(zhuǎn)型”的探索發(fā)展階段，來到了“戰(zhàn)略調(diào)整與政策扶持”的穩(wěn)扎穩(wěn)打階段。但是，我國設備業(yè)在迅猛發(fā)展的同時，本土設備業(yè)的不足以及弊端也日益突出。

新勢能推動全球設備業(yè)發(fā)展

人類正處于一種新運算時代的開始。這種新運算時代中，從視覺方式到感知方式都將發(fā)生一些變化。例如人機交互模式，從最初的鍵盤輸入，逐漸變成觸摸識別，再到如今火熱的語音識別，人工智能、大數(shù)據(jù)、物聯(lián)網(wǎng)等市場驅(qū)動因素正在逐漸改變生活和產(chǎn)業(yè)。與此同時，整個市場對于更高運算性能以及更高存儲容量的需求直線上升，可以預測，未來半導體工藝將變得日益復雜以及將更依賴于設備升級。這是半導體設備廠投入新一輪強勁增長態(tài)勢的主要原因。

“半導體產(chǎn)業(yè)的快速增長得益于物聯(lián)網(wǎng)、智能汽車、人工智能、5G商用進程加快應用的需求，以及驅(qū)動全球存儲器需求大爆發(fā)，從而提升設備業(yè)需求。”中國電科首席專家柳濱說。

2017年，國際晶圓制造進入10nm/7nm節(jié)點，10nm/7nm的制造線相繼投資建設，據(jù)了解，10nm/7nm工藝設備投資占2017年半導體全年投資的55%。高端顯示制造設備需求持續(xù)增長，包括10.5代大尺寸FPD制造設備和OLED制造設備，更是成為市場熱需，市場釋放出強勁的設備需求,設備業(yè)將保持數(shù)年的增長態(tài)勢。

中國市場獲得國際關(guān)注

“從2010年到如今，全球的半導體設備業(yè)都在逐漸增長，沒有任何一個工業(yè)的發(fā)展速度能類似于半導體業(yè)，這是因為半導體產(chǎn)業(yè)是一個全球化產(chǎn)業(yè)。這是一個偉大的時代，也充滿著巨大的機會，很多國家都正在快速發(fā)展，中國也是如此。中國正逐漸成為今后半導體生產(chǎn)的一大生力軍。”盛美半導體設備董事長兼首席執(zhí)行官王暉在盛美半導體設備（上海）亞太制造中心開業(yè)慶典上對記者說。

根據(jù)SEMI預測，2018年，半導體設備的銷售額達到601億美元，比2017年增長7.5％。在這一波的增長中，中國將會是半導體設備支出活躍的市場，越來越多的跨過公司和國內(nèi)芯片制造商都將選擇在中國建設新的晶圓廠。

泛林集團—亞太區(qū)供應鏈運營主管Nic Rossi曾透漏，泛林集團與中國企業(yè)早就存在著良好的的合作關(guān)系。除此之外，Nic Rossi表示，泛林集團與中國高等院校同樣達成了合作。“中國在全球半導體市場中占據(jù)重要地位，中國已經(jīng)成為、甚至將繼續(xù)成為半導體設備的主要市場及供應商。目前，中國的供應基地已經(jīng)成為泛林集團工廠及備件制造的關(guān)鍵來源。我們希望未來在中國不斷擴大產(chǎn)業(yè)投資。”Nic Rossi在2018中國半導體材料和零部件創(chuàng)新發(fā)展大會上說。

單類設備供給質(zhì)量突破是重點

雖然全球知名大廠都將中國列為重點發(fā)展國家，中國也擁有著龐大的市場空間，但是對于中國設備企業(yè)來說，要走的路還有很長。目前，中國半導體設備產(chǎn)業(yè)面臨的最大困境是單類設備的供給質(zhì)量的突破，盡快解決市場占有率低的問題。柳濱向記者介紹，設備供給質(zhì)量的突破，對于我國設備業(yè)來說并不簡單，因為它涉及到設備性能、工藝適用性、可靠性以及應用服務等方面。“設備供給質(zhì)量是單類設備市場占有率的基礎，也是設備制造商品牌和聲譽的名片，是設備制造商持續(xù)發(fā)展的市場保證。”柳濱說。

柳濱認為，中國設備企業(yè)完成單類設備供給質(zhì)量的突破，需要在兩方面下“苦工”。“一方面，設備制造商要按照符合半導體制造設備的開發(fā)規(guī)律，重視應用需求、進行應用工藝研發(fā)，建立工藝驗證試驗或引導生產(chǎn)線。另一方面，在設備制造商內(nèi)部形成真正意義上的專業(yè)設備公司體制運行機制，注重各類專業(yè)技術(shù)人才隊伍的建設，按照設備產(chǎn)業(yè)鏈價值環(huán)節(jié)從事經(jīng)營活動。”柳濱說。

在突破單類設備供給質(zhì)量的前提下，設備制造和產(chǎn)線應用界還應該形成產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟，將下游制造線建線列為發(fā)展方向。“由此加強整線設備集成與服務能力的建設，提升半導體設備在半導體制造產(chǎn)業(yè)中的國產(chǎn)化率。”柳濱說。

在單類設備質(zhì)量得以提升的同時，設備產(chǎn)業(yè)鏈的擴展也是一大挑戰(zhàn)，這對我國設備企業(yè)贏得客戶十分重要。Nic Rossi表示，想要擴展產(chǎn)業(yè)鏈，首先需要提升客戶的信任值，尤其是在同質(zhì)化的供應鏈中做到優(yōu)質(zhì)的差異化服務。“其次，廠商應該做到能夠進行彈性生產(chǎn)，快速為客戶形成解決方案，以此擴展的供應鏈，會更貼近客戶。最后，優(yōu)質(zhì)的企業(yè)文化、高效的操作、完善的商業(yè)流程及系統(tǒng)、高效的領(lǐng)導力及靈活性都將幫助企業(yè)贏得客戶。”Nic Rossi說。

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