5月22日，半導(dǎo)體設(shè)備廠商北方華創(chuàng)公告稱，公司及旗下全資子公司北方華創(chuàng)微電子收到北京經(jīng)信委撥付的國家科技重大專項地方政府配套資金合計20978.00萬元。

根據(jù)公告，這次撥付的配套資金項目有四個，分別是“45-32nm LPCVD設(shè)備產(chǎn)業(yè)化”項目、“14nm立體柵等離子體刻蝕機(jī)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目、“28-14nm原子層沉積系統(tǒng)（ALD）產(chǎn)品研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目、“14-7nm CuBS多工藝腔室集成裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目。

這四個項目均屬于國家科技重大專項02專項。2006年國務(wù)院發(fā)布《國家中長期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要（2006-2020年）》確定發(fā)展16個重大專項，其中“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”被列為“02專項”，該專項于2008年國務(wù)院批準(zhǔn)實施。

02專項成立后，組織“產(chǎn)學(xué)研”聯(lián)合開發(fā)，向世界先進(jìn)芯片技術(shù)節(jié)點攻關(guān)并推動裝備國產(chǎn)化，北京市作為組織牽頭單位，對項目承擔(dān)單位予以資金扶持，當(dāng)時的北方微電子、七星華創(chuàng)（北方微電子、七星華創(chuàng)后重組為“北方華創(chuàng)”）等產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)開始集體攻關(guān)。

北方華創(chuàng)的四個項目中，“45-32nm LPCVD設(shè)備產(chǎn)業(yè)化”項目執(zhí)行期六年（2011年~2016年），本次北方華創(chuàng)收到地方政府配套資金2328.00萬元。據(jù)報道，北方華創(chuàng)已完成LPCVD的攻克任務(wù)，其LPCVD設(shè)備已成功進(jìn)入中芯國際12英寸生產(chǎn)線。

“14nm立體柵等離子體刻蝕機(jī)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目執(zhí)行期四年（2014年-2017年），本次北方華創(chuàng)微電子收到地方政府配套資金9423.00萬元。北方華創(chuàng)在2017年年報中表示“目前所承擔(dān)的02專項在研課題14nm制程設(shè)備也已交付至客戶端進(jìn)行工藝驗證。”

“28-14nm原子層沉積系統(tǒng)（ALD）產(chǎn)品研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目執(zhí)行期四年（2015-2018年），本次北方華創(chuàng)微電子收到地方政府配套資金4811.00萬元。2017年北方華創(chuàng)已推出其量產(chǎn)型單片ALD設(shè)備，并于2017年12月5日進(jìn)駐上海集成電路研發(fā)中心。

“14-7nm CuBS多工藝腔室集成裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目執(zhí)行期四年（2016年-2019年），本次北方華創(chuàng)微電 子收到地方政府配套資金4416.00萬元。

02專項中政府補(bǔ)助經(jīng)費是由中央財政資金及地方政府配套資金在項目執(zhí)行期內(nèi)分批撥付，本次僅為部分資金。

2017年5月，北方華創(chuàng)也曾收到了“14nm立體柵等離子體刻蝕機(jī)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目、“28-14nm原子層沉積系統(tǒng)（ALD）產(chǎn)品研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目、“14-7nm CuBS多工藝腔室集成裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目的地方政府配套資金共約1.9億元。據(jù)系，這三個項目總經(jīng)費分別為12.35億元、5.51億元、6.78億元，政府承諾將補(bǔ)貼8億元、3.6億元、2.98億元。

公告稱，公司將本次政府補(bǔ)助到賬資金作為遞延收益，在相關(guān)資產(chǎn)達(dá)到預(yù)定可使用狀態(tài)后，在資產(chǎn)的使用期限內(nèi)平均分?jǐn)傆嬋霌p益，截至公告日，相關(guān)資產(chǎn)尚未達(dá)到可使用狀態(tài)。北方華創(chuàng)預(yù)計本次政府補(bǔ)助資金不會影響公司2018年度稅前利潤總額。

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