國內(nèi)迎來晶圓代工廠建廠落地潮，預(yù)計2019年~2020年將會是新廠設(shè)備大規(guī)模導(dǎo)入時間點，國產(chǎn)設(shè)備將迎來更大的機遇。在國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)火熱發(fā)展的大環(huán)境下，國產(chǎn)設(shè)備廠商如中微半導(dǎo)體、北方華創(chuàng)、晶盛機電等均有了長足發(fā)展。

作為國產(chǎn)設(shè)備代表企業(yè)之一，日前北方華創(chuàng)在投資者活動中回應(yīng)了其14nm制程設(shè)備進展、產(chǎn)品發(fā)展規(guī)劃等問題。

14nm制程設(shè)備進展

2017年年報中，北方華創(chuàng)表示2018年要推動14nm工藝設(shè)備等新產(chǎn)品的技術(shù)開發(fā)及市場拓展、布局10nm、7nm前沿關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)，在這次投資者活動中，北方華創(chuàng)進一步回應(yīng)了14nm設(shè)備進展。

集成電路制造設(shè)備的研發(fā)周期由設(shè)備廠商自身研發(fā)進度和其下游客戶正線工藝開發(fā)進度共同決定，目前國內(nèi)制造企業(yè)在工藝方面遠落后于國際水平。

代表國際水平的臺積電、三星早已量產(chǎn)10nm、7nm，臺積電的5nm正在路上，格芯5月16日也宣布7nm制程將于今年底前亮相，而代表大陸本土自主技術(shù)水平的中芯國際現(xiàn)在的量產(chǎn)制程仍處12英寸28nm階段，中芯國際日前表示其14nm工藝預(yù)計在2019年上半年量產(chǎn)。

今年4月，北方華創(chuàng)曾在投資者平臺上透露，目前其12英寸14nm制程設(shè)備正在在加速研發(fā)中，14nm刻蝕機、退火設(shè)備、PVD、ALD、清洗機、立式爐、ALD等已經(jīng)在客戶端進行驗證。

在這次投資者活動中，北方華創(chuàng)表示由于目前國內(nèi)14nm制程客戶處于研發(fā)階段，在設(shè)備研發(fā)到小批量生產(chǎn)階段，客戶可能不會大規(guī)模采購國產(chǎn)設(shè)備，后期客戶會考慮成本因素，會逐漸增加國產(chǎn)設(shè)備的采購比例。

但對于14nm制程設(shè)備而言，如果以批量銷售作為衡量標(biāo)準(zhǔn)，北方華創(chuàng)認為還需要2~3年。

現(xiàn)在、未來都不會開發(fā)光刻機

半導(dǎo)體設(shè)備是北方華創(chuàng)營收貢獻最大的業(yè)務(wù)，2017年營收占比為51.01%，產(chǎn)品包括刻蝕機、PVD、CVD、氧化爐、擴散爐、清洗機及MFC等7大類。

據(jù)北方華創(chuàng)透露，其半導(dǎo)體設(shè)備的主要客戶有中芯國際、武漢新芯、三安光電、華力微、京東方等，在長江存儲的公開招標(biāo)中已中標(biāo)兩臺PVD和兩臺清洗機，還有刻蝕機、氧化爐在客戶端進行工藝驗證，與合肥長鑫也正在就后續(xù)設(shè)備的評估展開溝通，中芯國際后續(xù)如果進行成熟工藝投產(chǎn)也會帶來一定數(shù)量的訂單。

有投資者問及是否計劃切入IC單晶爐及開發(fā)光刻機，對此北方華創(chuàng)也作出了明確回應(yīng)。

北方華創(chuàng)表示，相比IC用單晶爐，國內(nèi)光伏用單晶爐出貨量較大，公司目前集中于光伏單晶爐業(yè)務(wù)，另外IC單晶爐技術(shù)難度相對較高，此時切入還存在一定的難度。

至于光刻機，目前ASML是國際上占絕對競爭優(yōu)勢的光刻機廠商，北方華創(chuàng)則回應(yīng)稱沒有開發(fā)光刻機的計劃、未來也不會做，并表示將繼續(xù)圍繞現(xiàn)有設(shè)備種類做精做強。