這次中美貿(mào)易大戰(zhàn)中美國(guó)制裁中興事件,無(wú)疑刺痛了國(guó)人的心,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展刻不容緩,在半導(dǎo)體新材料領(lǐng)域,國(guó)內(nèi)將有望填補(bǔ)空白。4月17日,新三板公司恒坤股份發(fā)布定增方案,募集資金總額為不超過(guò)6500萬(wàn)元,用于投資建設(shè)半導(dǎo)體材料TEOS(正硅酸乙酯)特殊氣體工廠。
據(jù)公開(kāi)資料,恒坤股份于2015年5月25日掛牌新三板,主營(yíng)基于光電膜器件精密模切技術(shù)與鏡片表面加工技術(shù),為各大觸摸屏生產(chǎn)廠商提供各類電子產(chǎn)品零部件及相關(guān)原材料。
恒坤股份表示,公司目前正著手業(yè)務(wù)轉(zhuǎn)型,為配合國(guó)家集成電路發(fā)展戰(zhàn)略,涉足半導(dǎo)體新材料領(lǐng)域,擬向滿足條件的投資者發(fā)行股票不超過(guò)650.00萬(wàn)股,股票的發(fā)行價(jià)格為10.00元,融資額不超過(guò)人民幣6500.00萬(wàn)元,用于投資建設(shè)半導(dǎo)體材料TEOS(正硅酸乙酯)特殊氣體工廠。
TEOS電子氣體是半導(dǎo)體前驅(qū)體的重要材料之一,是存儲(chǔ)IC邏輯芯片等半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過(guò)程中不可缺少的化合材料,主要用于硅酮聚合物的交聯(lián)劑及二氧化硅薄膜前驅(qū)體。恒坤股份稱,目前TEOS在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)全部依賴進(jìn)口,因此選擇以TEOS為切入點(diǎn),布局此類電子氣體的國(guó)產(chǎn)化。
在高端電子氣體市場(chǎng)仍由少數(shù)國(guó)外企業(yè)壟斷,國(guó)內(nèi)基本處于空白階段,有部分外國(guó)廠商在中國(guó)設(shè)廠。去年9月,特殊材料領(lǐng)先供應(yīng)商Entegris與國(guó)內(nèi)特殊化學(xué)制造商湖北晶星簽訂協(xié)議,合作生產(chǎn)Entegris 高純度沉積產(chǎn)品,這些高純度沉積產(chǎn)品包括 TEOS(硅酸四乙酯),Entegris是第一家在中國(guó)生產(chǎn)TEOS的跨國(guó)企業(yè)。
該半導(dǎo)體材料項(xiàng)目工廠是由恒坤股份與項(xiàng)目技術(shù)合作方韓國(guó)S公司合資建立。根據(jù)前期談判,S公司將向該半導(dǎo)體材料工廠授權(quán)技術(shù)IP,專利轉(zhuǎn)讓費(fèi)用為400 萬(wàn)美元,且將全程參與指導(dǎo)新工廠的廠房建設(shè)、試生產(chǎn)、量產(chǎn)等,新工廠前期的原材料也完全按照S 公司現(xiàn)有的采購(gòu)渠道,由項(xiàng)目公司直接向原材料廠商采購(gòu)。
據(jù)悉,S公司在半導(dǎo)體行業(yè)有著30年以上的發(fā)展和沉淀,其TEOS前驅(qū)體、HF/BOE等材料在三星、海力士占有主要份額,恒坤股份于2016年與其建立戰(zhàn)略合作關(guān)系。
2017年,恒坤股份將S 公司的TEOS氣體首次導(dǎo)入國(guó)際IC大廠A公司實(shí)現(xiàn)量產(chǎn),目前恒坤股份在國(guó)內(nèi)前幾大IC廠商(含部分國(guó)際IC廠商設(shè)在國(guó)內(nèi)的工廠)的TEOS氣體測(cè)試已順利通過(guò),且已經(jīng)以貿(mào)易的方式為部分IC廠商提供TEOS氣體。
公告稱,應(yīng)客戶A二、三期擴(kuò)產(chǎn)需求,公司啟動(dòng)了TEOS本地化工廠建廠項(xiàng)目,該工廠主要生產(chǎn)產(chǎn)品TEOS/其他前驅(qū)體、 HF/BOE/NH4OH等大宗化學(xué)品。其中,首期建設(shè)項(xiàng)目產(chǎn)品為T(mén)EOS/ 其他前驅(qū)體,主要是為滿足第一目標(biāo)客戶A的TEOS氣體需求量并且輻射全國(guó)的IC客戶。
恒坤股份預(yù)計(jì),建廠后2019年的年出貨量可達(dá)600噸以上,占工廠一期規(guī)劃產(chǎn)能(年1000噸)的60%,足以支撐首期TEOS項(xiàng)目工廠的初期運(yùn)營(yíng)。

(恒坤股份對(duì)其中四大客戶的產(chǎn)品需求預(yù)測(cè))
公告稱,TEOS工廠的落戶,將填補(bǔ)該材料國(guó)內(nèi)的空白,響應(yīng)了中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的材料國(guó)產(chǎn)化大策略,有利于于公司進(jìn)一步拓展國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體材料市場(chǎng)的整體布局。
事實(shí)上,除了TEOS外,目前國(guó)內(nèi)企業(yè)已開(kāi)始布局其他半導(dǎo)體前驅(qū)體材料。如全椒南大光電材料有限公司計(jì)劃投資1億元在現(xiàn)有廠區(qū)內(nèi)建設(shè)二期高純 ALD、CVD 前驅(qū)體產(chǎn)品項(xiàng)目,雅克科技24.67億元并購(gòu)科美特,切入前驅(qū)體材料領(lǐng)域......但從仍高度依賴進(jìn)口的現(xiàn)狀看來(lái),中國(guó)半導(dǎo)體材料發(fā)展任重道遠(yuǎn)。
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