因競爭對手臺積電、三星陸續(xù)在2018年挺進7納米先進制程,格羅方德(GLOBALFOUNDRIES)日前也宣布,該公司的7納米制程不但在測試良率已提升到65%,未來將按照時程使用EUV技術(shù)的商用和普及,并與客戶AMD展開合作。根據(jù)格羅方德先前公布,7納米制程將在2018年推出,并在年底量產(chǎn)。
根據(jù)格羅方德全球銷售和業(yè)務發(fā)展高級副總裁Mike Cadigan日前在中國上海舉辦的GTC技術(shù)大會演講表示,隨著5G即將開始商用,資料傳輸?shù)乃俣仍絹碓礁?,手機需要滿足高速且大量的資料傳輸,需要不同以往的射頻元件。在高性能運算需求方面,格羅方德將提供FinFET制程,從14LPP到12LP,再到7LP等各節(jié)點的制程技術(shù)。

格羅方德首席技術(shù)長兼全球研發(fā)高級副總裁Gary Patton指出,目前7納米制程的7LP EUV技術(shù)已有積極進展。7納米LP制程預期將比14納米制程效能提升40%、功耗降低60%。目前,7納米測試良率已經(jīng)提高到65%,將按計劃進行EUV技術(shù)的商用和普及,并且與客戶AMD合作。
Gary Patton坦言,在EUV技術(shù)上,格羅方德的7納米制程確實面臨很多挑戰(zhàn),包括如何進一步提升良率、光罩防塵膜瑕疵等問題,必須努力克服才能投入大規(guī)模量產(chǎn),目標是將良率提高到95%。格羅方德目前采取分階段采用EUV技術(shù)的策略,第一階段將不采用光罩防塵膜(pellicle),第二階段才會使用。

除了先進制程,傳統(tǒng)的成熟制程一般很難滿足所有應用的要求,物聯(lián)網(wǎng)(IOT)對低功耗的要求更高,因此低功耗高性價比要求的應用,格羅方德也針對物聯(lián)網(wǎng)、移動通信、射頻芯片提供22FDX、12FDX等制程解決方案。
Gary Patton指出,目前格羅方德20、22納米已進入量產(chǎn)準備階段,且2018年底前已有15個設計定案,并陸續(xù)有135家客戶展開初期接觸。他指出,目前12FDX性能已經(jīng)90%達到目標,預計2018年下半年進入試產(chǎn),2019年上半年正式量產(chǎn)。
格羅方德在中國的布局方面,受矚目的成都晶圓廠Fab 11(11廠)廠房施工建設歷時8個多月,一期廠房即將于11月初封頂,項目進展十分順利。預計在2018年完工時,將成為中國境內(nèi)最大的晶圓廠,并成為中國最先進12寸晶圓廠之一。同時,F(xiàn)ab 11也將成為格羅方德22FDX制程的生產(chǎn)中心。
預計先期Fab 11會以生產(chǎn)0.13微米到0.18微米的主流成熟技術(shù)產(chǎn)品為主,每月產(chǎn)能為20,000片。到2019年下半年,將進行高度差異化的22FDX(FD-SOI)制程量產(chǎn),屆時產(chǎn)量將提高至每月65,000片。
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