在當(dāng)前半導(dǎo)體制程已經(jīng)微縮到10納米以下之際，大家都寄望借助極紫外光微影設(shè)備（EUV）能協(xié)助制程向前發(fā)展，也使得摩爾定律（Moore’s Law）能夠再往下延伸。不過，就目前生產(chǎn)EUV設(shè)備的艾司摩爾（ASML）來說，因為其制造的困難度，已經(jīng)積壓了大量訂單在手上。現(xiàn)在，有國外媒體指出，之所以使得艾司摩爾的EUV設(shè)備生產(chǎn)不順的主因，就是來自于設(shè)備中光學(xué)鏡頭供應(yīng)商蔡司（Carl Zeiss）供貨進(jìn)度跟不上需求所致。

外媒報導(dǎo)指出，艾司摩爾EUV的光學(xué)鏡頭是德國蔡司公司所生產(chǎn)。但是，由于蔡司的鏡頭供貨量不足，導(dǎo)致艾司摩爾的EUV極紫外光微影設(shè)備生產(chǎn)進(jìn)度緩慢。據(jù)了解，7月份艾司摩爾曾經(jīng)報告指出，至今已經(jīng)積壓了多達(dá)21臺EUV的訂單，每臺EUV訂單成本高達(dá)1.5億美元。而2017年年底前最多也就只能交付8到9臺EUV設(shè)備。

報導(dǎo)進(jìn)一步指出，根據(jù)外界預(yù)估，隨著三星和臺積機(jī)電都宣布將在2018年試生產(chǎn)內(nèi)含EUV技術(shù)的圓晶制程，使得2017年EUV設(shè)備的銷售金額預(yù)計可達(dá)到14.82億美元，這比2016年的10.36億美元足足成長了43%，而且這個數(shù)字在2019年還將會進(jìn)一步上升到30億美元。

目前，艾司摩爾的客戶都是一些半導(dǎo)體大廠，比如臺積電，三星，英特爾（Intel）等，如果拿不到EUV設(shè)備，新世代制程的生產(chǎn)計劃必定會受到影響，任誰也不想看到這樣的情況發(fā)生。所以，艾司摩爾在生產(chǎn)還將要再加把勁的努力。據(jù)了解，目前EUV設(shè)備的生產(chǎn)，現(xiàn)在還面臨一些問題需要調(diào)整。除了來自蔡司的鏡頭的供應(yīng)不足之外，還有設(shè)備上的芯片保護(hù)膜仍需要改進(jìn)。

現(xiàn)階段，在三星和臺積電都宣布將試產(chǎn)內(nèi)含EUV技術(shù)在內(nèi)的圓晶，反觀半導(dǎo)體大廠Intel的態(tài)度則是不急不徐。雖然，Intel不是當(dāng)前第一個采用EUV技術(shù)量產(chǎn)圓晶的企業(yè)，但將來Intel或許會是購買最多的EUV設(shè)備的公司。

因為，2017年三星的資本支出已經(jīng)達(dá)到了170億美元，Intel則是120億，臺積電也有100億元，最少的是格羅方德，只有25億美元。但是，所有廠商在EUV部分的花費總共才14.82億元。因此，預(yù)估在2019年這個數(shù)字會進(jìn)一步上升至30億美元之際，Intel為加速自己的步伐，并與競爭對手相抗衡，將會比較大程度的采購EUV設(shè)備來強(qiáng)化自己的技術(shù)，這就是其關(guān)鍵手段之一。

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