9月10日上午，國(guó)內(nèi)首條、全球領(lǐng)先、兼容CMOS的8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線(xiàn)在上海嘉定正式啟動(dòng)。由上海微技術(shù)工業(yè)研究院構(gòu)建的這條有望影響中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的中試線(xiàn)，旨在打造中國(guó)完整的“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)鏈基礎(chǔ)上，進(jìn)一步推動(dòng)中國(guó)“超越摩爾”技術(shù)和物聯(lián)網(wǎng)創(chuàng)新應(yīng)用快速發(fā)展，引領(lǐng)全球。

日常生活中，我們每時(shí)每刻都被一種名叫傳感器的“隱形者”包圍著。僅以智能手機(jī)為例，其內(nèi)部就裝載了二三十個(gè)傳感器。在智能硬件、工業(yè)制造、健康醫(yī)療、車(chē)聯(lián)網(wǎng)等諸多領(lǐng)域，傳感器都有廣闊的應(yīng)用空間。近年來(lái)國(guó)內(nèi)傳感器市場(chǎng)年均增速超過(guò)20%，市場(chǎng)規(guī)模超千億元。

目前，全球傳感器市場(chǎng)主要由美國(guó)、日本等幾家龍頭企業(yè)主導(dǎo)。國(guó)外半導(dǎo)體巨頭遵循著英特爾創(chuàng)始人之一戈登·摩爾提出的“摩爾定律”狂飆突進(jìn)，即集成電路上可容納的元器件數(shù)目每隔18至24個(gè)月會(huì)增加一倍，性能隨之提升一倍，技術(shù)創(chuàng)新一路領(lǐng)先。中國(guó)企業(yè)一路追隨，但始終難以望其項(xiàng)背——中國(guó)八成以上傳感器依賴(lài)進(jìn)口。核心技術(shù)尚未突破、糾纏于低端競(jìng)爭(zhēng)等因素，長(zhǎng)期制約著國(guó)內(nèi)傳感器產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

那么，我們有沒(méi)有可能甩掉“摩爾定律”，實(shí)現(xiàn)彎道超車(chē)呢？據(jù)估算，“摩爾定律”技術(shù)路線(xiàn)的投資量級(jí)是百億美元，而“超越摩爾”技術(shù)路線(xiàn)的投資量級(jí)僅為億美元，且產(chǎn)品種類(lèi)豐富。遵循這一思路，2013年，聚焦“超越摩爾”領(lǐng)域的上海微技術(shù)工業(yè)研究院成立，其使命是助力上海在傳感器等新興領(lǐng)域有所突破。

綜觀我國(guó)超越摩爾領(lǐng)域現(xiàn)狀，雖經(jīng)歷多年的理論研究與技術(shù)驗(yàn)證，但在實(shí)際應(yīng)用時(shí)，往往與生產(chǎn)平臺(tái)脫節(jié)。這都是源于微機(jī)電系統(tǒng)產(chǎn)品研發(fā)涉及的技術(shù)鏈條較長(zhǎng)，且其“非標(biāo)”特性使得它的研發(fā)與創(chuàng)新需要和產(chǎn)線(xiàn)有一段比較長(zhǎng)的磨合期，對(duì)生產(chǎn)線(xiàn)“嚴(yán)重依賴(lài)”。

而中試就是必經(jīng)階段，也是國(guó)內(nèi)傳感器廠(chǎng)家共同面臨的挑戰(zhàn)。據(jù)統(tǒng)計(jì)，科技成果經(jīng)過(guò)中試，產(chǎn)業(yè)化成功率可達(dá)80%，未經(jīng)中試成功率僅有30%?；诖耍鳛榈?020年上海市將培育30家研發(fā)與轉(zhuǎn)化功能型平臺(tái)中的“首發(fā)陣容”，也是上?？苿?chuàng)中心建設(shè)“四梁八柱”中的重要節(jié)點(diǎn)之一，上海微技術(shù)工業(yè)研究院將“超越摩爾”8英寸研發(fā)中試線(xiàn)，作為其瞄準(zhǔn)具有全球影響力科技創(chuàng)新的發(fā)力點(diǎn)，爭(zhēng)取在這一領(lǐng)域與國(guó)際領(lǐng)先水平并行。

在“超越摩爾”領(lǐng)域，目前業(yè)界還普遍使用6英寸產(chǎn)線(xiàn)，工研院為何選擇8英寸？據(jù)介紹，8英寸是目前國(guó)際“超越摩爾”領(lǐng)域公認(rèn)的領(lǐng)先技術(shù)，應(yīng)該說(shuō)是“彎道超車(chē)”的最佳選擇。落地上海嘉定工業(yè)區(qū)，近5000平方米的高等級(jí)微納加工超凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)，工研院與國(guó)際領(lǐng)先的晶圓廠(chǎng)密切合作構(gòu)建的8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線(xiàn)，不僅實(shí)現(xiàn)了從研發(fā)到量產(chǎn)的無(wú)縫銜接，更豐富完整了國(guó)內(nèi)的超越摩爾生態(tài)鏈，是對(duì)標(biāo)國(guó)際產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)的關(guān)鍵一環(huán)。

據(jù)悉，8英寸研發(fā)中試線(xiàn)將專(zhuān)注于“超越摩爾”傳感器產(chǎn)品技術(shù)的開(kāi)發(fā)，可以全面開(kāi)展表面、體、3D微納加工以及新工藝、新器件、新系統(tǒng)的研發(fā)，并根據(jù)“超越摩爾”產(chǎn)品技術(shù)特點(diǎn)部署了MEMS、3D集成、MR磁傳感、功率及生物等相關(guān)工藝和量測(cè)設(shè)備，可承擔(dān)產(chǎn)品研發(fā)、小批量生產(chǎn)、技術(shù)培訓(xùn)等服務(wù)，為企業(yè)走通從實(shí)驗(yàn)室到市場(chǎng)化的“最后一公里”搭建平臺(tái)，助力 “超越摩爾”產(chǎn)品和技術(shù)從研發(fā)到量產(chǎn)的無(wú)縫銜接。

與此同時(shí)，上海微技術(shù)工業(yè)研究院聯(lián)合國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金等產(chǎn)業(yè)資本，共同設(shè)立“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)基金，建立了“超越摩爾”領(lǐng)域的孵化器和加速器。上海微技術(shù)工業(yè)研究院還在美國(guó)硅谷、臺(tái)灣新竹、法國(guó)格勒諾布爾等地設(shè)有辦公室及研發(fā)中心，在全球范圍內(nèi)布局創(chuàng)新網(wǎng)絡(luò)，真正營(yíng)造“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新生態(tài)。

如需獲取更多資訊，請(qǐng)關(guān)注全球半導(dǎo)體觀察官網(wǎng)（www.0318hs.cn）或搜索微信公眾賬號(hào)（全球半導(dǎo)體觀察）。