2021-10-12
芯源微上海子公司將開展高端半導(dǎo)體設(shè)備及零部件的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化，項目建成后將滿足高端集成電路設(shè)備的研發(fā)、測試和產(chǎn)業(yè)化需求...
2021-06-15
日前，芯源微披露其定增預(yù)案，擬向特定對象發(fā)行股票數(shù)量不超過公司總股本的30%，即本 次發(fā)行不超過2520萬股，募集總金額不超過10億元（含本數(shù)）...
2021-05-08
總建筑面積76728平方米，一期建筑面積47012平方米。項目主要用于生產(chǎn)高端晶圓處理設(shè)備，包括前道涂膠/顯影機及前道單片式清洗機等...
2021-01-08
芯源微披露投資者關(guān)系活動記錄表指出，公司前道涂膠顯影機與國際光刻機聯(lián)機的技術(shù)問題已經(jīng)攻克并通過驗證，可以與包括ASML、佳能等國際品牌以及國內(nèi)的上海微電子（SMEE）的光刻機聯(lián)機應(yīng)用...
2020-07-29
據(jù)沈陽芯源公司官微指出，芯源微高端晶圓處理設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項目總投資5.28億元，將分2期建設(shè)，其中一期投資2.38億元。項目總用地面積45576.95平方米，總建筑面積76728.84平方米...
2020-05-08
近日，由沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司（以下簡稱“芯源微”）生產(chǎn)的前道涂膠顯影機到位中芯北方進(jìn)行驗證。據(jù)沈陽日報報道，這意味著國產(chǎn)涂膠顯影...
2019-10-22
10月21日，上交所科創(chuàng)板上市委員會召開了2019年第35次審議會議，根據(jù)審議結(jié)果顯示，同意沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司（以下簡稱“芯源微”）發(fā)行上市...
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