近日，晶盛機電在接受機構(gòu)調(diào)研時表示，目前公司積極推進項目進度與產(chǎn)能提升，目前8英寸碳化硅襯底片已實現(xiàn)批量生產(chǎn)，量產(chǎn)晶片的核心位錯達到行業(yè)領(lǐng)先水平。

晶盛機電表示，自布局碳化硅襯底業(yè)務(wù)以來，公司通過自主開發(fā)的設(shè)備、熱場和工藝技術(shù)，不斷延伸產(chǎn)品系列。經(jīng)過研發(fā)團隊的技術(shù)攻關(guān)，公司于2020年建立6-8英寸碳化硅晶體生長及切磨拋產(chǎn)線，于2022年成功研發(fā)出8英寸N型碳化硅晶體。2023年11月，公司正式進入了碳化硅襯底片項目的量產(chǎn)階段。目前公司碳化硅襯底片已通過多家下游企業(yè)驗證，并實現(xiàn)批量銷售。

同時，晶盛機電相繼推出了6英寸雙片式碳化硅外延設(shè)備、8英寸碳化硅外延設(shè)備。據(jù)晶盛機電披露，其中6英寸雙片式碳化硅外延設(shè)備在外延產(chǎn)能、運營成本等方面已取得國際領(lǐng)先優(yōu)勢，與單片設(shè)備相比，雙片設(shè)備單臺產(chǎn)能增加70%，單片運營成本降幅可達30%以上，助力客戶創(chuàng)造極大價值。8英寸碳化硅外延設(shè)備可兼容6、8寸碳化硅外延生產(chǎn)，解決了腔體設(shè)計中的溫場均勻性、流場均勻性等控制難題，外延的厚度均勻性1.5%以內(nèi)、摻雜均勻性4%以內(nèi)，達到行業(yè)領(lǐng)先水平。

此外，在營收預(yù)期方面，晶盛機電稱，2023年度公司繼續(xù)強化裝備領(lǐng)域核心競爭力，同時積極推動新材料業(yè)務(wù)快速發(fā)展，希望在管理層和全體員工共同努力下，能夠?qū)崿F(xiàn)全年整體營業(yè)收入同比增長60%以上。

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