據(jù)通用智能消息,12月16日,通用智能裝備有限公司SiC晶錠8寸剝離產(chǎn)線正式交付客戶。
碳化硅由于其高硬度,高脆性特點,在SiC 器件制造領(lǐng)域存在一個瓶頸:晶錠分割工藝過程。目前,SiC晶錠主要通過砂漿線/金剛石線切割,效率低和損耗高。
據(jù)悉,通用智能采用激光隱切技術(shù)完成SiC晶錠分割工藝過程,并成功實現(xiàn)8寸碳化硅晶錠剝離設(shè)備的量產(chǎn)。
資料顯示, 通用智能是一家國際化智能裝備制造企業(yè),致力于高端半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)裝備與材料的研發(fā)和制造。
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