據(jù)科友半導體消息, 在14日舉辦的寬禁帶半導體材料技術成果鑒定會上,哈爾濱科友半導體產(chǎn)業(yè)裝備與技術研究院有限公司(以下簡稱“科友半導體”)“8英寸碳化硅長晶設備及工藝”通過中國電子學會科技成果鑒定。
資料顯示,科友半導體是一家專注于第三代半導體裝備研發(fā)、襯底制作、器件設計、科研成果轉化的國家高新技術企業(yè),研發(fā)覆蓋半導體裝備研制、長晶工藝、襯底加工等多個領域,已形成自主知識產(chǎn)權,實現(xiàn)先進技術自主可控。
2022年底,科友半導體通過自主設計制造的電阻長晶爐產(chǎn)出直徑超過8英寸的碳化硅單晶,晶體表面光滑無缺陷,最大直徑超過204mm。這是科友半導體繼去年10月在6英寸碳化硅晶體厚度上實現(xiàn)40mm突破后,在碳化硅晶體生長尺寸和襯底尺寸上取得的又一次極具歷史意義的重大突破。
哈爾濱科友半導體產(chǎn)業(yè)裝備與技術研究院有限公司董事長趙麗麗表示,未來科友半導體將繼續(xù)加大技術投入,快速推進二期工程。
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