疫情之下，上海集成電路企業(yè)韌性十足，加速?gòu)?fù)工復(fù)產(chǎn)。近日，位于臨港新片區(qū)的積塔半導(dǎo)體特色工藝生產(chǎn)線一期建成投片。

臨港新片區(qū)積塔半導(dǎo)體特色工藝生產(chǎn)線總投資359億元，占地面積23萬(wàn)平方米。在特色工藝生產(chǎn)線的無(wú)塵生產(chǎn)車間，半導(dǎo)體芯片的整個(gè)制作流程被展示在墻上，原始晶圓要經(jīng)過(guò)光刻、離子注入，刻蝕等步驟方能成為成品。

Source：浦東電視臺(tái)

積塔半導(dǎo)體五廠廠長(zhǎng) 戴學(xué)春：這個(gè)光刻工藝實(shí)際上反映了我們制造工藝的水平，現(xiàn)在目前的配置是有兩臺(tái)光刻機(jī)，我們可以做到月產(chǎn)5000片，當(dāng)我們這個(gè)線全部填滿的時(shí)候，能做到月產(chǎn)6萬(wàn)片。

作為上海市重大產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目，積塔特色工藝生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目專注于模擬電路及功率器件的制造，支撐工控、汽車電子、智能電網(wǎng)、能源等產(chǎn)業(yè)發(fā)展，全面達(dá)產(chǎn)后將成為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的車規(guī)級(jí)特色工藝生產(chǎn)線，可進(jìn)一步完善上海集成電路產(chǎn)業(yè)高地布局。

積塔半導(dǎo)體公司首席運(yùn)營(yíng)官 郭強(qiáng)：我們積塔半導(dǎo)體這個(gè)項(xiàng)目首先在設(shè)備采購(gòu)方面就選擇了國(guó)際上比較先進(jìn)的一些生產(chǎn)設(shè)備，為我們制造出高端產(chǎn)品提供最基本的保障。公司在國(guó)家的支持下引進(jìn)了一些核心的研發(fā)團(tuán)隊(duì)和生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)管理團(tuán)隊(duì)，由此，我們就能開(kāi)發(fā)出和國(guó)際上主要供應(yīng)商相匹配相對(duì)應(yīng)的高端功率器件和模擬電路，保障我們的質(zhì)量符合國(guó)際上汽車電子的規(guī)格要求。

據(jù)悉，今年初疫情突發(fā)，正處于設(shè)備密集搬入和組裝期的積塔半導(dǎo)體新線項(xiàng)目面臨嚴(yán)峻挑戰(zhàn)。公司一手抓疫情防控、一手抓建廠，堅(jiān)定按照預(yù)定節(jié)點(diǎn)成功通線投片，為積塔半導(dǎo)體新線實(shí)現(xiàn)年內(nèi)量產(chǎn)奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

封面圖片來(lái)源：浦東電視臺(tái)