12月25日，北京耐威科技股份有限與國家集成電路產業(yè)基金共同投資的賽萊克斯微系統(tǒng)科技(北京)有限公司“8英寸MEMS國際代工線建設項目首臺設備搬入儀式”在北京市經濟技術開發(fā)區(qū)舉行。

據了解，該項目建成后將成為北京首條商業(yè)量產、全球業(yè)界最先進的8英寸MEMS芯片生產線，最終達產后將形成年投片3萬片/月的生產能力

微機電系統(tǒng)（MEMS）是指用微機械加工技術制作的包括微傳感器、微致動器、微能源等微機械基本部分，以及高性能的電子集成線路組成的微機電器件與裝置。MEMS傳感器作為國際競爭戰(zhàn)略的重要標志性產業(yè)，以其技術難度高、特色工藝性強，市場前景廣闊等特點備受世界各國的關注。

耐威科技 董事長楊云春表示，“大家熟悉的生產線側重二維空間，不斷讓芯片變得更小，而MEMS屬于集成電路特色工藝，聚焦的是三維空間，芯片內部結構也縮小至納米量級，格外考驗芯片制造實力。”

賽萊克斯MEMS項目是經開區(qū)的重要項目之一。基于對市場需求前景及國內產業(yè)鏈現(xiàn)狀的判斷，耐威科技在經開區(qū)等多方支持下，全資收購瑞典Silex，月產3萬片的傳感器生產線落地北京亦莊，項目量產后年產值不低于20億元。瑞典賽萊克斯董事聶鐵輪表示，北京8英寸MEMS國際代工線對標瑞典Silex的設置，配置、原材料和工藝等一一對應，確保工藝流程及產品生產的一致性。

據了解，瑞典Silex掌握了硅通孔、晶圓鍵合、深反應離子刻蝕等多項在業(yè)內具備國際領先競爭力的工藝技術和工藝模塊，擁有目前業(yè)界最先進的硅通孔絕緣層工藝平臺（TSI），已有超過10年的量產歷史、生產過超過數(shù)十萬片晶圓、100多種不同的產品，技術可以推廣移植到2.5D和3D圓片級先進封裝平臺，為全球知名或某些領域領先廠商提供過400余項MEMS芯片的工藝開發(fā)服務。

賽萊克斯設備搬入標志著經開區(qū)新一代信息技術產業(yè)發(fā)展迎來新生力量，一直以來，經開區(qū)為項目建設、產業(yè)發(fā)展提供全方位的政策、環(huán)境和服務保障，經開區(qū)新一代信息技術產業(yè)呈現(xiàn)多點發(fā)力的喜人景象，區(qū)內聚集相關企業(yè)約50家，已形成集設計、制造、封測、裝備、零部件及材料企業(yè)在內的完備產業(yè)鏈。1-11月，經開區(qū)新一代信息技術產業(yè)實現(xiàn)產值765.8億元。

封面圖片來源：拍信網

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